一、上海臺(tái)式電鏡介紹

EM科特（EmCrafts）CUBE-Ⅱ Plus臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)是一款桌面緊湊型掃描電子顯微鏡,。區(qū)別與傳統(tǒng)掃描電鏡的笨重機(jī)身,，Cube系列占地面積小,，便攜性能好，可遵照客戶(hù)服務(wù)指南任意移動(dòng)SEM設(shè)備,。

二,、上海臺(tái)式電鏡在硅太陽(yáng)能電池觀(guān)察中的應(yīng)用

綜述：

太陽(yáng)能電池又稱(chēng)為“太陽(yáng)能芯片"或“光電池"，是一種利用太陽(yáng)光直接發(fā)電的光電半導(dǎo)體薄片,。它只要被滿(mǎn)足一定照度條件的光照到,，瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產(chǎn)生電流。在物理學(xué)上稱(chēng)為太陽(yáng)能光伏,。太陽(yáng)能芯片的表面微觀(guān)形貌,、原料和工藝對(duì)電池電性能影響很大，需要掃描電鏡進(jìn)行觀(guān)測(cè),，從而控制電池質(zhì)量,。

試驗(yàn)方法：

取不同工藝進(jìn)程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀(guān)察?？焖儆^(guān)察模式,，照相時(shí)間 10s

結(jié)論：

EM科特掃描電鏡，可滿(mǎn)足硅太陽(yáng)能電池制造工藝控制檢測(cè)需要,。采用CUBE臺(tái)式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡,，需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀(guān)察整塊芯片,，無(wú)損檢測(cè),。

1、晶圓制絨結(jié)構(gòu)掃描電鏡圖像

2,、晶圓表面Saw damage etching

3,、鋁漿電極掃描電鏡圖像

4、銀漿電極掃描電鏡圖像

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