LaNiO3薄膜-立方鈣鈦礦結(jié)構(gòu)-瑞禧供應(yīng)

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LaNiO3薄膜-立方鈣鈦礦結(jié)構(gòu)-瑞禧供應(yīng)

尺寸：2×2cm

基底: Si

英文名稱：LaNiO3-film

采用射頻磁控濺射制備工具有(100)擇優(yōu)取向的贗立方鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的LaNiO3-x薄膜，并對薄膜在265℃的襯底溫度下進(jìn)行了原位熱處理,。測試結(jié)果表明薄膜具有金屬導(dǎo)電性,，薄膜中晶粒大小約為10nm,，并且熱處理對薄膜的結(jié)構(gòu)沒有影響,。

同時(shí)，隨著熱處理時(shí)間延長,，薄膜品格的含氧量,、電導(dǎo)率,、光學(xué)折射率以及消光系數(shù)都將逐步降低。采用經(jīng)典電磁理論,，通過計(jì)算機(jī)模擬成功解釋了這些實(shí)驗(yàn)結(jié)果和證明了以前給出的理論解釋,。此外，數(shù)值模擬和實(shí)驗(yàn)結(jié)果同時(shí)表明在純氬氣氛中濺射制備的LaNiO3薄膜晶格中存在氧空位,，為了提高電導(dǎo)率,，濺射時(shí)的氧氣比例應(yīng)超過20％。

LaNiO3薄膜的制備表征及應(yīng)用：為改進(jìn)以醇鹽為原料溶膠-凝膠制備LaNiO3(LNO)薄膜工藝中存在的諸多苛刻因素,以無機(jī)鹽為原料,利用濕化學(xué)工藝在硅襯底上制備了LNO薄膜,La(NO3)3·6H2O和Ni(NO3)2·6H2O冰醋 酸溶液通過配體交換形成金屬醋酸鹽的冰醋酸溶液,回流時(shí)用乙酸酐(CH3CO)2O除硝酸根和結(jié)晶水,而乙酰丙酮(AcAc)部分取代醋酸鹽分子中的醋酸根而形成的M(OAc)n-x(AcAc)x(M=La3+或Ni2+)能部分水解形成M(OH)n-x(AcAc)x.

該羥基金屬離子通過羥基聚合并與 甲基纖維素(MCL)形成線狀結(jié)構(gòu)LNO溶膠,易于成膜.LNO薄膜經(jīng)過550-850℃/60min退火形成多晶膺立方鈣鈦礦結(jié)構(gòu),其晶格參數(shù) a=3.84(A).四引線法測定厚度0.6μmLNO薄膜電阻率與溫度的變化在-163-150℃之間能符合ρ=ρ0+AT2關(guān)系式.

在1KHz測試頻 率下,測得Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)(52/48)薄膜剩余極化強(qiáng)度Pr在LNO/Pt/Ti/SiO2/Si襯底和Pt/Ti /SiO2/Si襯底上分別為19.6和23.5μC·cm-2,矯頑場分別為76.1和85.1 kV·cm-1.

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