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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保 |
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MKS MultiGas 6030傅立葉變換紅外光譜儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀,。其具有ppb到ppm靈敏度,。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分 析,,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視,。MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流,能同時分析和顯示多達30種氣體,。分析儀儲存了校準光譜,,故省出了氣體筒的成本。另外,,操作者也會發(fā)現(xiàn)MKS MultiGas 6030操作簡便,,易于維護。
特點和優(yōu)點
? 10ppb-靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體
? 易于移動從一處移到另一處,,設(shè)置僅需幾分鐘
? 同時分析和顯示多達30種氣體
? 分析儀儲存了校準光譜,,省去了氣體筒的成本
? 取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度
? 保護的線性檢測器,確保所有分析儀維持在相同的校準條件下
? 頻率和分辨率診斷,,確保校準恒定
? 提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度
? 用戶操作簡便軟件界面,,稍加培訓(xùn)即可操作
光譜分析
Multigas的分析器有個具有定量和多功能的分析軟件,它能同時分析和報道許多混合 物的濃度,,這個能在個人電腦上運行的軟件,, 能對分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的 變化進行自動修正。樣本的收集和分析在一 秒內(nèi)完成,,進行瞬時分析,。
整個數(shù)據(jù)整理過程中,,MultiGas 軟件一邊計算SETUP里面選擇氣體的濃度,一邊不 斷的收集和描繪光譜,。顯示形式包括濃度歷 史的圖表和列表形式,,測得的光譜和殘余光 譜。這個殘余光譜能被用來確定分析的誤差,, 使得QA/QC變得簡單和真實,。當解決了所有 被提及的光譜后,殘留光譜就描繪“剩余的" 光譜信息一次,。一旦光譜被收集和保存,,這 些光譜可以在任何時候利用同樣或不同的零 點設(shè)定進行再工藝。
對應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計,,2102傅利葉變換紅外分光計是緊湊和粗糙的,,能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作,是可用的處理FTIR方式中較快速,,靈敏和穩(wěn)定的!另外,,它能在在惡劣環(huán)境下操作,,具有對高溫,振動和溫度變化的免疫,。更可貴的是,,高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是 標準的,為分析提供低噪音的紅外光譜,。
這個分光計連接到一個小體積(200mL) 多變換,,有5.11米有效通道的氣室,這個氣室的設(shè)計結(jié)合了非球面的,, 非端正的鏡子,,它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提供兩倍光學(xué)吞吐量。做為選擇,,一個單變換 的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強吸收 率的氣體,,任何一種氣室在環(huán)境溫度到 191℃之間操作。
儀器的自主校準
MultiGas 的軟件有多點校準圖,,能提供 一個動態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級.許多核數(shù)的校準都由其提供,,另外,用戶也可以通過 已知的濃度來進行校準,。MultiGas 軟件檢驗每個工具的性能的效用,,使它能把一個已經(jīng) 在一臺機器上校準的的值用于其他任何一臺機器上,而且不用變更,。
MKS MultiGas 6030傅立葉變換紅外光譜儀規(guī)格
分析儀主機
分析儀采樣參數(shù)
分析儀氣體室
檢測極限