量程

X方向

200mm

Z方向

±500μm

分辨率

X方向

0.0016μm/±50μm ~ 0.016μm/±500μm

驅動器

直線度

1μm/200mm

分析算法

對應標準

JIS-82、JIS-87,、JIS-94,、JIS-01、JIS213,、ISO-84,、 ISO297、DIN-90,、ASME295,、GB-14

參數

粗糙度輪廓

Ra75、Rq,、Rp,、Rv、Rc,、Rt,、S、R3z、PPI,、Ra,、Rsk、

Rku,、Ry,、Sm、RΔa,、RΔq,、Rz、Pc,、Rλa,、Rλq、lr,、RSm,、Rz94、RPc,、RS,、Rz.I,、Rpm,、HSC

波紋度輪廓

WCA、WCC-q,、WCC-p,、WCC-v、WCC-m,、WCC-Sm,、WCA、WC-q,、WC-p,、WC-v、WCM,、WC-Sm,、WC-t、Wa,、Wq,、Wsk Wku、Wp,、Wv,、Wz、Wc、Wt,、WSm,、WΔq、WPc

原始輪廓

Rsk,、Rku,、Rmax、Sm,、Δa,、Δq、Rz,、λa,、λq、lr,、TILT A,、AVH、Hmax,、Hmin,、AREA、Rz.J,、Pa,、Pq、Psk,、Pku,、Pp、Pv,、Pc.I,、Pt、PSm,、PΔq,、PPc、Pc

支承率曲線

Rk,、Rpk,、Rvk、Mr1,、Mr2,、V0、K,、A1,、A2

圖形

NCRX,、AR、R,、Rx,、NR、CPM,、SR,、SAR、AW,、W,、

Wx、Wte,、NW,、SW、SAW,、Rke,、Rpke、Rvke,、Mr1,、Mr2、V0,、K

評定曲線

粗糙度輪廓,、波紋度輪廓、原始輪廓,、支承率曲線,、圖形

特征曲線

支承率曲線(Rmr(c),、Rmr2(c),、Rδc(c)、tp(c),、tp2(c),、Htp(c))、幅頻分析曲線,、振幅分布曲線

形狀去除

全域,、前半、后半,、中心,、2點、曲線

濾波器類型

Gaussian,、FFT,、PC、DP、2RC

濾

止

波

長

λs

0,、2.5,、8、25μm  

λc

0.08,、0.25,、0.8、2.5,、8mm

λf

0.8,、2.5、8,、25mm

評定長度

取樣長度 × 取樣個數（取樣長度有標準模式與自定義模式）

測量速度

0.05mm/s,、0.10mm/s、0.50mm/s,、1.00mm/s,、2.00mm/s

回程速度

0.05mm/s、0.10mm/s,、0.50mm/s,、1.00mm/s、2.00mm/s

傳感器

型號

標準通用型

傳感器方式

差動電感

量程

±500μm

測針

5μmR金剛石90°

測力

0.75mN可調

操作機

顯示部分

10寸彩色IPS觸摸屏

數據輸出

TF卡/U盤/WIFI打印

對應語言

中文,，英文

尺寸

及質量

電源/消耗

AC220V±10%   內置充電電池（AC變壓器充電） 充電時間8小時

耗電量

約30VA

尺寸/質量

執(zhí)行器  168(W)×516(L)×378(H)

操作器  245(W)*162(D)*68(H)    干重16Kg      含包裝20Kg