量程

X 方向

50mm

Z 方向

±1000μm

傳感器分辨率

0.0016μm/±50μm-0.032μm/±1000μm

驅(qū)動(dòng)器

直線度

1μm/200mm

分析算法

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

JIS-82,、JIS-87、JIS-94,、JIS-01,、JIS-13、ISO-84,、ISO-97,、

DIN-90、ASME-95,、GB-14

參數(shù)

粗糙度

輪廓

Ra75,、Rq、Rp,、Rv,、Rc、Rt,、S,、R3z、PPI,、Ra,、

Rsk、Rku,、Ry,、Sm、RΔa,、RΔq,、Rz、Pc,、Rλa,、

Rλq、lr,、RSm、Rz94,、RPc,、RS,、Rz.I、Rpm,、HSC

波紋度

輪廓

WCA,、WCC-q、WCC-p,、WCC-v,、WCC-m、WCC-Sm,、WCA,、

WC-q、WC-p,、WC-v,、WCM、WC-Sm,、WC-t,、Wa、Wq,、Wsk ,、Wku、Wp,、Wv,、Wz、Wc,、Wt,、WSm、WΔq,、WPc

原始輪廓

Rsk,、Rku、Rmax,、Sm,、Δa、Δq,、Rz,、λa、λq,、lr,、TILT A、AVH,、Hmax,、Hmin,、AREA、Rz.J,、Pa,、Pq、Psk,、Pku,、Pp、Pv,、Pc.I,、Pt、PSm,、PΔq,、PPc、Pc

支承率曲線

Rk,、Rpk,、Rvk、Mr1,、Mr2,、V0、K,、A1,、A2

圖形

NCRX、AR,、R,、Rx、NR,、CPM,、SR、SAR,、AW,、W、Wx,、

Wte,、NW、SW,、SAW,、Rke、Rpke、Rvke,、Mr1,、Mr2,、

V0,、K

評(píng)定曲線

粗糙度輪廓、波紋度輪廓,、原始輪廓,、支承率曲線、圖形

特征曲線

支承率曲線(Rmr(c),、Rmr2(c),、Rδc(c)、tp(c),、tp2(c),、

Htp(c))、幅頻分析曲線,、振幅分布曲線

形狀去除

全域,、前半、后半,、中心,、2點(diǎn)、曲線

濾波器類型

Gaussian,、FFT,、PC、DP,、2RC

濾

止

波

長(zhǎng)

λs

0,、2.5、8,、25μm

λc

0.08,、0.25、0.8,、2.5,、8mm

λf

0.8、2.5,、8,、25mm

評(píng)定長(zhǎng)度

取樣長(zhǎng)度 × 取樣個(gè)數(shù)（取樣長(zhǎng)度有標(biāo)準(zhǔn)模式與自定義模式）

測(cè)量速度

0.05mm/s、0.10mm/s,、0.50mm/s,、1.00mm/s、2.00mm/s

回程速度

0.05mm/s,、0.10mm/s,、0.50mm/s,、1.00mm/s、2.00mm/s

傳感器

型號(hào)

標(biāo)準(zhǔn)通用型

傳感器方式

差動(dòng)電感

量程

±1000μm

測(cè)針

5μmR金剛石90°

測(cè)力

0.4mN~0.75mN

操作機(jī)

顯示部分

10寸彩色IPS觸摸屏

數(shù)據(jù)輸出

TF卡/U盤(pán)/WIFI打印

對(duì)應(yīng)語(yǔ)言

中文,，英文

尺寸

及質(zhì)量

電源/消耗

AC220V±10% 內(nèi)置充電電池（AC變壓器充電） 充電時(shí)間8小時(shí)

耗電量

約30VA

尺寸/質(zhì)量

執(zhí)行器 80(W)*392(L)*180(H)

操作器 245(W)*162(L)*68(H)

凈重4Kg