德國ADL電源系列

自 1992 年以來,，ADL 一直在開發(fā)和生產(chǎn)在*范圍內(nèi)全天候使用的電源,。它們確保對玻璃、箔,、工具,、鏡片（眼鏡）、人造珠寶,、塑料（汽車前燈）,、CD 和 DVD、平板屏幕,、電子元件,、半導體等進行可靠的涂層。

ADL主要系列產(chǎn)品：

1,、直流電源 GS 系列 0.5 - 3.0kW GS 05 - GS 30

緊湊型電源是為生產(chǎn)工廠和實驗室中的磁控管開發(fā)的,。簡單和安全的操作使這些電源非常靈活，適用于許多過程,。電弧處理會根據(jù)不同的工藝參數(shù)自動調(diào)整,，因此無需編程。這些裝置專為安裝在 19" 機架中而設計,。

輸出功率 0.5 - 3.0kW

風冷

? 19″–外殼,，3 HU

可互換的接口

電壓、電流,、功率顯示

通過前面板手動操作

自動電弧處理

2,、直流電源 GS 系列 6.0 - 15kW GS 60 - GS 150

GS 60 – GS 150 系列風冷直流電源提供三種不同的版本：有源前面板、無源前面板和狀態(tài) LED。電源可以在沒有占空比限制的情況下以全額定功率運行,。多個電源的并聯(lián)運行是可能的,。GS 60 – GS 150 系列與 ADL 的所有電源一樣，具有極快的自動消弧功能,。電源的操作既簡單又安全,。

輸出功率 6.0 - 15kW

風冷

19″–機箱，3 HU

浮動輸出

焦耳模式

自動電弧處理

3,、直流電源 GSW 系列 10.0 - 30kW GSW 100 - GSW 300

并聯(lián)運行時,，輸出功率可增加到240kW。由于采用了特殊的電路布置,，因此不需要“主從接線",。即使在沒有空調(diào)的房間里，高效的水冷也能保證最高的可靠性,。電源可通過前面板或接口手動操作,。有不同的前面板和接口可用。超快速電弧處理*自動工作,，即使在并行操作中也不需要同步,。

輸出功率 10 – 30kW

水冷

19″–機箱，3 HU

浮動輸出

并聯(lián)運行高達 240 KW

自動電弧處理

4,、直流電源 GX 系列 5.0 - 15kW GX 50 - GX 150

GX-Sputtering 電源能夠每秒自動消除高達 80.000 個電弧,。這種的能力與電源的小尺寸相結合，對于 GX 系列來說非常出色且意義重大,，該系列還具有集成的陰極鉗位二極管,。電源可以在沒有占空比限制的情況下以全額定功率運行。

輸出功率 5 - 15 kW

水冷

? 19″–外殼,，3 HU

浮動輸出

焦耳模式

自動電弧處理

5、直流濺射電源 HX 150 – HX 300

? 19" 寬度和 5 HU 的非常緊湊的設計專為沒有機柜的生產(chǎn)工廠而設計,。HX 具有安裝法蘭,，可以在任何位置集成到或連接到等離子室。顯示器可以旋轉并與電源分離,。即使在沒有空調(diào)的房間里,，高效的水冷也能確保最高的可靠性。為了避免冷凝水,，可以通過集成溫度控制連接外部電磁閥,。并聯(lián)運行時輸出功率可達240kW。特殊的電子設計允許主從操作以及通過 Interface-Combiner 或 Profibus 的并行操作,。極快的 Arc-Handling *自動工作,，因此無需設置參數(shù)

輸出功率 15kW – 30kW

并聯(lián)運行高達240kW

水冷

電磁閥控制

帶集成顆粒攔截器的機柜通風

? 19"- 外殼，5 HU

法蘭安裝

M8-吊眼用內(nèi)螺紋

可更換、可旋轉的顯示器

自動電弧處理

7,、離子源電源

對于離子源（Kaufmann 和 ECR）的操作,，可使用特殊電源。根據(jù)要求,，這些裝置還可以配備其他輸出電壓或輸出功率,。所有電源都有一個模擬接口或 Profibus

8、脈沖發(fā)生器,、選件和附件：RD 300,、D 300、RC4,、AM2,、OM5

脈沖發(fā)生器 RD 300 與大多數(shù) ADL 電源結合使用諧振開關電路。憑借非凡的效率（30kW 時為 99.5%）,，該裝置非常緊湊,，功耗最大為 150W。現(xiàn)有設備可以輕松改造,，因為脈沖發(fā)生器 RD 300 直接與直流電源并聯(lián)連接到陰極,。發(fā)生器以 2kHz 的固定頻率運行。然而,，使用外部信號發(fā)生器,，該頻率可以在 0.2 到 3kHz 之間變化,?？梢酝ㄟ^控制線連接多個脈沖發(fā)生器 RD 300 以實現(xiàn)自動同步。

9,、單極脈沖發(fā)生器 SD 30,、SD 150 和 SD 300

結合 ADL 直流電源,，脈沖發(fā)生器產(chǎn)生單極脈沖。脈沖發(fā)生器以 20kHz 的固定頻率工作,。因此,，使用外部信號發(fā)生器，該頻率可以在 1kHz 至 40kHz 的范圍內(nèi)變化,。脈沖發(fā)生器配備有自動消弧裝置,。Triplevel 和 Pulse off time 的參數(shù)會根據(jù)具體過程自動調(diào)整。*不需要用戶編程,。對于自動同步,，可以通過控制電纜連接多臺發(fā)電機。在這種情況下,，脈沖發(fā)生器會自動切換到外部同步,。

輸出功率 3 kW,、15 kW、30 kW

并聯(lián)運行高達 240 kW

自動電弧處理

輸出浮動

自動同步

風冷

非常緊湊的設計

法蘭安裝

10,、中頻雙極脈沖發(fā)生器 SB 300

發(fā)生器可用作中頻發(fā)生器以產(chǎn)生對稱的交流電流以及雙極脈沖發(fā)生器以產(chǎn)生不對稱的方波脈沖,。使用特殊的比例功率控制器，雙磁控管的目標壽命可以精確對稱,。此外,，還可以用不對稱脈沖功率控制兩種不同的目標材料。比率功率控制器通過脈寬調(diào)制 (PWM) 自動設置脈沖時間,。發(fā)生器以 20kHz 的固定頻率工作,。發(fā)生器具有自動消弧功能。Triplevel 和 Pulse off time 的參數(shù)會根據(jù)所選過程自動調(diào)整,。不需要用戶編程,。對于自動同步，可以通過控制電纜連接多臺發(fā)電機,。

輸出功率 30kW,，交流

主/從或并聯(lián)單元組合，最大 240kW

比例功率控制器

自動同步

水冷

非常緊湊的設計

輸出浮動

模塊化系統(tǒng)允許將 HX (DC) 與單極脈沖發(fā)生器 (SD) 或雙極脈沖發(fā)生器 (SB) 結合使用

緊湊型設計 ? 19“

帶 PWM 控制的雙極脈沖發(fā)生器保證絕對對稱濺射,！

出色的超快和全自動電弧管理

工藝重現(xiàn)性：優(yōu)于1-2%

ADL 的直流濺射電源是為工業(yè)生產(chǎn)系統(tǒng)開發(fā)的,。這些設備的特點是耐用、堅固和易于使用,。全自動電弧處理可確保較好涂層效果并防止操作錯誤,。ADL 能夠根據(jù)模塊化原理構建其設備，使用不同的模塊作為客戶特定的電源,，從而較好地適應客戶的要求,。

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