NS-3500是一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM),。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,，如半導體晶片，F(xiàn)PD產品,，MEMS設備,，玻璃基板,，材料表面等方面擁有多種解決方案,。 

Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：

• 高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

• 實時共焦成像                                                 簡單的數(shù)據分析模式

• 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

  大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

• 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

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Software (軟件）：

Application field（應用領域）：

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案,。

可測量微米和亞微米結構的高度,，寬度,，角度，面積和體積,，例如

-半導體:IC圖形,，凹凸高度,，線圈高度,，缺陷檢測，CMP工藝

- FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,，ITO圖案,，LCD柱間距高度

- MEMS器件:結構三維輪廓，表面粗糙度,，MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電池,，太陽能電池紋理,，激光圖案

-材料研究:模具表面檢測,，粗糙度,，裂紋分析

Specification (規(guī)格）：

精細和長距離掃描儀的雙重掃描模式僅適用于NS-3500-S（單鏡頭類型）,。                

注1:精細掃描由壓電執(zhí)行器（PZT）執(zhí)行,。

注2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品（步長1μm）進行100次測量。      

注 3 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品（5μm間距）進行100次測量,。