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微納結(jié)構(gòu)三維形貌測量儀

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  • 品牌 FLOWX
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市
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更新時間:2024-06-04 13:47:59瀏覽次數(shù):2994

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,電子/電池
微納結(jié)構(gòu)三維形貌測量儀系列微納結(jié)構(gòu)三維形貌檢測儀,,基于白光干涉掃描原理,,以光波長作為測量基準,,利用納米級高精度掃描系統(tǒng)結(jié)合具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高精度解析算法,,實現(xiàn)連續(xù)或臺階突變微納結(jié)構(gòu)表面三維形貌重構(gòu),由此獲得待測物體三維形貌,、表面紋理,、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測量結(jié)果。

詳細介紹

 

系列微納結(jié)構(gòu)三維形貌檢測儀,,基于白光干涉掃描原理,,以光波長作為測量基準,利用納米級高精度掃描系統(tǒng)結(jié)合具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高精度解析算法,,實現(xiàn)連續(xù)或臺階突變微納結(jié)構(gòu)表面三維形貌重構(gòu),,由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理,、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測量結(jié)果,。

微納結(jié)構(gòu)三維形貌測量儀本產(chǎn)品具有以下特點:
高的測量精度:基于干涉測量原理,測量重復(fù)性達到1nm,。
大的測量范圍:采用*掃描系統(tǒng),,在保證納米定位精度的同時,單場掃描范圍可達到10mm,,結(jié)合白光光源重構(gòu)方法,,可滿足曲面元件等大范圍物體測量需求,。
全自動測量:標配自動檢焦功能,結(jié)合自動調(diào)焦裝置,,無需復(fù)雜調(diào)節(jié)過程,,一鍵操作即可完成調(diào)焦、檢測全過程,。選配自動二維平臺,,可自動完成大面積三維數(shù)據(jù)拼接操作
高集成度,、安裝簡便:整機集成為統(tǒng)一整體,,僅需外接220v電源,通過USB3.0 數(shù)據(jù)傳輸,,即可完成數(shù)據(jù)傳輸與測量
具有高的性價比:保證系統(tǒng)性能的同時,,降低制造成本
靈活性高:可根據(jù)用戶需求,對系統(tǒng)進行改進,,滿足工業(yè)不同應(yīng)用場景需求,。

微納結(jié)構(gòu)三維形貌測量儀技術(shù)參數(shù):

型號

3DNM-W50

光源

LED

CCD分辨率

2040×1080

調(diào)焦方式

自動

縱向掃描范圍

4mm

縱向掃描速度

15μm/s

傾斜調(diào)整范圍

縱向分辨率

VSI:0.5nm,PSI:0.1nm

橫向分辨率

650nm(20倍物鏡)

臺階測量重復(fù)性

1nm

XY樣品臺行程

100mm×100mm(手動)

Z軸行程

50mm(自動)

重量

50Kg

外形尺寸

550mm×380mm×680mm

數(shù)據(jù)傳輸接口

USB 3.0

 

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