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國產(chǎn)全自動臺階儀 JS3000B，擁有高精度,、高分解能力,，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量,。JS2000B提供兩個(gè)彩色攝像頭對樣品和針尖同時(shí)成像,，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域,。

應(yīng)用范圍

▲ 刻蝕,、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描

▲ 批量測試晶圓,，批量處理數(shù)據(jù)等

系統(tǒng)組成

▲ EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)

▲ JS300B

選配品

▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

▲ FFU模塊

▲ 靜電消除模塊

▲ E84接口

軟件界面

掃描圖

                                                                                                   18nm樣品

                                                                                                  68um樣品