Sensofar 5軸空間新型高精度3D測(cè)量系統(tǒng)S neox Five Axis
此款Sensofar 5軸空間新型高精度3D測(cè)量系統(tǒng)S neox Five Axis結(jié)合了高精度旋轉(zhuǎn)模塊和S neox 3D光學(xué)輪廓儀的先進(jìn)檢測(cè)和分析功能在規(guī)定的位置上實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)地3D表面測(cè)量,，并結(jié)合在一起,，完成全表面的3D立體測(cè)量,。S neox 3D測(cè)量技術(shù)涵蓋了廣泛的尺度，包括輪廓變化(多焦面疊加技術(shù)),、亞納米粗糙度(干涉測(cè)量技術(shù))或需要更高橫向分辨率以及垂直分辨率(共聚焦技術(shù))的臨界尺寸,。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、涵蓋了廣泛的三維測(cè)量尺度：
S neox 3D測(cè)量技術(shù)涵蓋了廣泛的尺度,，包括輪廓變化(多焦面疊加技術(shù)),、亞納米粗糙度(干涉測(cè)量技術(shù))或需要更高橫向分辨率以及垂直分辨率(共聚焦技術(shù))的臨界尺寸。
2,、應(yīng)用范圍廣泛：
S neox Five Axis可以在*的位置進(jìn)行全自動(dòng)3D表面測(cè)量,，并將所有測(cè)量結(jié)果組合在一起，完成全表面的3D立體測(cè)量,。
3,、完整的3D測(cè)量：
S neox Five Axis能夠旋轉(zhuǎn)樣品，在圓周上相同高度的位置測(cè)量一系列3D形貌,。SensoFIVE 軟件合并相同高度的一系列單個(gè)3D形貌信息,，得到高精度的環(huán)形樣品表面的精確3D表面。然后合并不同的高度,，系統(tǒng)可以在尖銳邊緣和關(guān)鍵表面上提供完整的形狀信息,。
4、連接相鄰表面：測(cè)量大于90º的角度
測(cè)量包含陡角的復(fù)雜曲面非常困難,，因?yàn)殛幱靶?yīng)會(huì)阻止您在單次采集中獲得完整的測(cè)量結(jié)果,。有必要傾斜樣品以便從兩個(gè)不同的位置測(cè)量樣品并將兩個(gè)形貌結(jié)果組合以獲得完整的測(cè)量結(jié)果。Five Axis旋轉(zhuǎn)臺(tái)允許樣品沿相反方向定位以使整個(gè)表面可見,。系統(tǒng)將獲取單獨(dú)的測(cè)量值,，然后，將自動(dòng)合并它們以獲得完整的3D立體測(cè)量,。
5,、多自由度測(cè)量無限制：
通過自動(dòng)化程序，只需單擊一下即可測(cè)量樣品的不同部分,。友好的用戶界面允許您在沒有任何約束的情況下找到測(cè)量位置,。然后關(guān)注樣品的關(guān)鍵部分并將其添加到自動(dòng)化例程中。最后點(diǎn)擊”獲取”,，只需單擊一下即可獲得所有測(cè)量部件,。這是一種自動(dòng)化測(cè)量程序的快速簡(jiǎn)便方法。
6,、表面光潔度測(cè)量：準(zhǔn)確可靠
我們的共聚焦和干涉測(cè)量技術(shù)允許您測(cè)量具有任何級(jí)別的粗糙表面,，從極粗糙(典型的鋼材表面)到大約1A的高反射表面 (金剛石或鏡面)。根據(jù)NPL、NIST和PTB粗糙度標(biāo)準(zhǔn),，將我們的系統(tǒng)轉(zhuǎn)換為重復(fù)且可追溯的系統(tǒng),。多焦面疊加技術(shù)使系統(tǒng)對(duì)測(cè)量大坡度提供了快速、簡(jiǎn)便地響應(yīng),。
7,、高精度5軸旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：
Five Axis旋轉(zhuǎn)平臺(tái)有高精度電動(dòng)旋轉(zhuǎn)A軸和360º無限旋轉(zhuǎn)、1弧秒定位重復(fù)性,、和電動(dòng)B軸,、-30º至110º、0.5弧分定位精度,、帶限位開關(guān)組成,。還配備了System3R夾緊系統(tǒng)。
8,、豐富的支架和夾頭：
各種支架和夾頭,。根據(jù)樣品，可提供不同類型的支架,。對(duì)于旋轉(zhuǎn)樣品,，夾頭支架(可根據(jù)要求提供多種選擇)帶有十五個(gè)夾頭，而其他夾頭則為扁平夾具,。它還包括平面鏡和校準(zhǔn)樣品的校準(zhǔn)包,。
9、均勻的環(huán)形燈增強(qiáng)照明：
為獲取均勻的照明,，配置環(huán)形燈照明輔助,。環(huán)形燈采用LED照明,，以均勻有效的方式照射樣品,。它安裝在物鏡的上方和周圍,，環(huán)形燈為共焦和多焦面疊加技術(shù)提供增強(qiáng)的信號(hào),。這確保了焦平面處的適當(dāng)照明。
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