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江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司

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全封閉式桌面顯影機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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品牌 LEBO/雷博
型號(hào) DM200-SE
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
所在地 無錫市

屬性

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更新時(shí)間：2025-06-19 13:55:45瀏覽次數(shù)：6223評(píng)價(jià)

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產(chǎn)品分類品牌分類

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自動(dòng)顯影機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,能源,電子/電池
產(chǎn)品尺寸	550mm (W) x600mm (D) x405mm (H)

全封閉式桌面顯影機(jī) 主要用于半導(dǎo)體制造中晶片的顯影工藝,，性價(jià)比高,，穩(wěn)定性好,，重復(fù)性好,，對(duì)顯影作業(yè)有非常理想的效果。設(shè)備配有一路顯影和一路水,、一路氣吹功能,，并且噴嘴位置可程控移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)顯影和清洗作業(yè)。

詳細(xì)介紹

　　產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

　　·全封閉式顯影,，避免霧氣擴(kuò)散到外部,，污染環(huán)境。

　　·外殼噴塑,，耐腐蝕,，易清洗。

　　·內(nèi)腔不銹鋼材質(zhì),，鏡面拋光處理,，光滑，耐腐蝕,，易清洗,。

　　·內(nèi)置真空過濾器，防止液體吸入真空泵,。

　　·真空壓力可調(diào),，壓力值實(shí)時(shí)顯示。

　　·液體流量可調(diào),，回吸可調(diào),。

　　產(chǎn)品參數(shù)

　　支持wafer尺寸：碎片至200mm(8”圓晶)

　　·轉(zhuǎn)速分辨率：±1 RPM

　　·旋涂速度：20-3000rpm(空載)

　　·旋涂加速度：20-10,000rpm/sec(空載)

　　·工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000sec/step，時(shí)間設(shè)置精度： 0.1sec

　　·該機(jī)型適用于標(biāo)準(zhǔn)3路顯影機(jī)(1路顯影液,，1路純水,，1路氮?dú)?

　　·單步工藝及多步工藝可選，內(nèi)置100組可編輯程序

　　·可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機(jī)或更大基片的顯影機(jī),。

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