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應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

激光焦點(diǎn)輪廓儀（LFP）

測量儀器

LFP 以 40 納米的分辨率測量衍射極限焦點(diǎn)處的強(qiáng)度分布,。

世界上極少能揭示任何激光設(shè)備的性能和像差的納米級光束輪廓儀。

概覽

激光焦點(diǎn)輪廓儀（LFP）是用于測量激光焦點(diǎn)附近強(qiáng)度分布的精密測量儀器,。LFP 是世界上極少能夠測量由高數(shù)值孔徑（NA）透鏡形成的超細(xì)焦點(diǎn)的產(chǎn)品。

激光焦點(diǎn)附近的強(qiáng)度分布是許多激光微/納米技術(shù)的關(guān)鍵性能指標(biāo),。它評估激光顯微鏡的空間分辨率、激光束加工的效率、光學(xué)數(shù)據(jù)存儲的記錄密度、基于光鑷的力測量系統(tǒng)的彈簧常數(shù),、顯微鏡物鏡的性能,。

使用 CCD/CMOS 相機(jī)的光束輪廓儀作為商業(yè)產(chǎn)品，可用于傳播激光束橫截面的強(qiáng)度分析。然而，由于像素尺寸大（至少超過一微米）導(dǎo)致的空間分辨率有限,，很難直接應(yīng)用于帶有顯微鏡物鏡的激光焦點(diǎn),。要將此輪廓儀應(yīng)用于小于像素尺寸的焦點(diǎn),，需要用光學(xué)元件放大焦點(diǎn)并將其成像在探測器上,。然而，這種放大方法可能會引入不想要的像差,；很難對準(zhǔn),，并且要求放大光學(xué)元件具有比用于聚焦激光束的更高的 ????,。

刀刃法是另一種已被提出的原位技術(shù)，但由于刀刃的鋒利度,、偽影等若干原因，尚未針對小激光焦點(diǎn)實現(xiàn)商業(yè)化,。

LFP 利用 40 納米大小的金納米粒子,，能夠高精度地測量僅有幾百納米的高數(shù)值孔徑（~1.4）透鏡的焦點(diǎn)。

特點(diǎn)

l高分辨率（40 納米,；納米粒子的大?。?/span>

l適用于高數(shù)值孔徑聚焦透鏡（～1.4）

l高度為 26 毫米的緊湊型傳感器，可在顯微鏡載物臺上操作

l無需調(diào)整

l精確測量原理（無像差,，最小化偽影）

l三維測量

應(yīng)用

l激光顯微鏡

l激光加工

l激光制造

l光學(xué)存儲器

l光鑷

l光學(xué)裝置整體

l包括液體浸沒透鏡在內(nèi)的各種顯微鏡物鏡

規(guī)格

零件清單

l包括消耗性探頭的 LFP 傳感器

l掃描儀（如果您選擇）

l控制器

l筆記本電腦

l電纜

LFP 傳感器

傳感器型號	LFP-UV-111100	LFP-VIS-166145	LFP-NIR-166145
激光波長	200 nm ~ 400 nm	400 nm ~ 1100 nm	1000 nm ~ 1700 nm
探頭	Gold nanoparticl 40 nm	Gold nanoparticl 40 nm	Gold nanoparticl 4 0nm
探頭數(shù)量（在光束照射區(qū)域,，Φ100μm）	> 5	> 5	> 5
NALFP	1.11	1.66	1.66
截止數(shù)值孔徑	1.00	1.45	1.45
光敏度（V/nW）（典型值）	TBD	TBD	TBD
放大器截止頻率（Hz）	160	160	160
放大器增益	100M	100M	100M
尺寸(mm)	Φ30 H31	Φ30 H26	Φ30 H26
重量(g)	55	50	50

掃描儀

掃描儀型號	TBD XYZ	TBD XY
軸	x/y/z	x/y
驅(qū)動類型	Piezoelectric element	Piezoelectric element
行程(μm)	120/120/60	120/120
在 50 克負(fù)載下的共振頻率(Hz)	155/155/155	155/155
重復(fù)性(nm)	±5/±5/±5	±5/±5
位置傳感器	Capacitive sensor	Capacitive sensor
孔徑(mm)	Φ30	Φ30
尺寸(mm)	□100 H26	□100 H26
重量(kg)	0.5	0.6

控制器

控制器	TBD XY	TBD XY	TBD NA
用于掃描儀驅(qū)動的輸出端口	Drive x 3ch(SMB) Position sensor x 3ch(TJM)	Drive x 2ch(SMB) Position sensor x 2ch(TJM) AO(16bit,-10V to 10V) x 1ch, (TJM) Pulse output x 1ch (TJM)	AO(16bit,0V to 10V) x 3ch(TJM) Pulse output x 3ch (NBC)
反饋控制類型	PI Analog	PI Analog	N.A.
輸入傳感器端口	1ch (BNC)	1ch (BNC)	1ch (BNC)
輸入動態(tài)范圍	16bit	16bit	16bit
PC 通信總線	USB	USB	USB
電源	AC100 ～ 120V / AC200 ～ 240V selection	AC100 ～ 120V / AC200 ～ 240V selection	AC100 ～ 120V / AC200 ～ 240V selection
功耗	100 VA	100 VA	50 VA
尺寸(mm)	W236×D388×H140	W236×D388×H140	TBD
重量(kg)	5.4	5.4	TBD