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青島芯笙近期推出多款氣體質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品,，成功打通從MEMS芯片到流量檢測(cè)儀表和算法的全鏈條核心技術(shù),，成為青島市僅有的幾家掌握MEMS核心芯片技術(shù)的高科技企業(yè)之一。

隨著國家對(duì)國產(chǎn)儀器和半導(dǎo)體設(shè)備的重視和支持,，國內(nèi)分析儀器產(chǎn)業(yè),、半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了快速發(fā)展。作為分析儀器和半導(dǎo)體裝備的核心部件,，氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器目前仍以進(jìn)口為主,，國產(chǎn)化替代需求迫切。不同于傳統(tǒng)的差壓,、渦街等原理的體積型流量計(jì),，MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)基于熱傳導(dǎo)原理對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行高精確測(cè)量，該類型產(chǎn)品不受溫度和壓力等環(huán)境參數(shù)影響,。

青島芯笙S500系列氣體質(zhì)量流量控制器,，具有*的氣體流道設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)靈活的分流比配置,，量程覆蓋1sccm~120slm,，最小控制精度為0.1sccm，0~50℃溫度范圍漂移量?jī)H為0.4~0.6%,。在電學(xué)信號(hào)方面,，提供多種數(shù)字和模擬控制方式，并配備工業(yè)級(jí)顯示屏,，方便客戶現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試和配置。