產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,石油,電子/電池,航空航天 |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
HP300烤膠機是針對半導體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設計的一款產(chǎn)品,,采用新穎的數(shù)字式加熱設計,可以精*的控制表面溫度,;堅固耐腐蝕的鋁合金面板,,優(yōu)異的導熱性可以滿足多種應用場景;數(shù)字式顯示器可迅速編碼準確控制溫度,;獨立的防過熱電路設計,,確保實驗安全。
產(chǎn)品特點:
1,、采用高精度微處理器,,溫度控制更加準確;
2,、HP300烤膠機可同時顯示設定溫度和實際溫度,,*高溫度可達325℃ ;
3,、外觀小巧精致,,高度162mm,更適宜通風櫥使用,;
4,、結構簡單,可靠性高,,元器件均做防腐蝕處理,;
5,、加熱部件與元器件分離設計,,確保安全。
技術規(guī)格:
溫度范圍:RT~300℃(150℃請勿合蓋)
加熱面板尺寸:220×220mm
加熱板材質(zhì):鋁合金
樣品尺寸:≤8寸晶圓
溫度均一性:≤±1%
溫度穩(wěn)定性:±0.2℃
控溫精度:±0.2℃
烘烤方式:接觸式烘
外觀尺寸:350(W)*250(D)*162(H)mm
烤膠機與傳統(tǒng)的烘箱,、真空干燥箱相比,,利用烤膠機固化膜層的優(yōu)勢有:
1、烘烤時間減少,;
2,、重復性高;
3,、對薄膜的固化效果好,;
4、烤膠機整個面板溫度均勻,,對基片膜層固化效果非常好,。由于固化是從下往上,,所以不會“皮膚效應"。這種“由里而外"的固化方式尤其適合較厚的膜層,,因為靠近基片的膜層會首先固化好,,然后是膜層靠外的部分。該款烤膠機由于升溫迅速,,所以產(chǎn)量較高,。烘烤時間用秒計算,而不是像傳統(tǒng)烘箱用分鐘或者小時計算,。