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是德keysight 10774A 短距離直線度光器件

HIGHLIGHTS

Keysight 10774A 短距離直線度光器件結(jié)合了直線度干涉儀和反射鏡,，可在長 3 米（10 英尺）的行程距離內(nèi)進(jìn)行測量,。該光器件構(gòu)成了一個高精度的光學(xué)直尺，可以測量機(jī)床行程和坐標(biāo)測量機(jī)運動的直線度,，分辨率達(dá)到 0.04 微米（1 微英寸）。

除了 Keysight 10774A（在 Keysight 5530 激光校準(zhǔn)系統(tǒng)中使用）之外,，您還可以使用其他許多元器件對干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行量身定制,，以滿足各個應(yīng)用的物理版圖和測量要求,。

• 直線度測量精度
• 總體精度 = 光參考精度 + 測量精度
• 與使用直尺和指示器測量直線度的傳統(tǒng)方法類似，光參考精度相當(dāng)于直尺精度,，而測量精度相當(dāng)于指示器精度
• 光參考精度
• 直尺（反射鏡）反轉(zhuǎn)技術(shù)可消除光參考不確定度
• 公制單位模式：0.15 M² µm
• 英制單位模式：0.5 F² µin
• 測量精度
• 溫度范圍顯示值：0 µm 至 10 µm，10 至 1,500 µm
• 0 µm 至 400 µm,，400 至 60,000 µm
• 15° C 至 25 °C，±3.5% ±1% ±0.25 µm（10 µin）
• 0° C 至 40° C,，±6% ±1% ±0.5 µm（20 µin）
• 直線度測量分辨率
• Keysight 5519A,、Keysight 5519B
• 短距離：0.01 µm（0.4 µin）、0.04 µm（1.4 µin）
• 直線度測量范圍（正交至軸向移動）
• ±1.5 mm（0.060 英寸）
• 軸向分離（移動）
• （干涉儀和反射鏡之間的距離,，典型值,，經(jīng)過恰當(dāng)?shù)膶?zhǔn)，15°C 至 25°C）：
• 短距離光器件：0.1 m 至 3 m（4 英寸至 120 英寸）
• 高分辨率平面鏡
• 與對準(zhǔn)激光源相比更精/確,，對空氣擾動的靈敏度更低

是德keysight 10774A 短距離直線度光器件