國(guó)產(chǎn)激光干涉儀SJ6000集光,、機(jī),、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗*力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用干涉信號(hào)采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)4m/s的測(cè)量速度,，以及納米級(jí)的分辨率,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文,、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面,、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。

SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高,、測(cè)量范圍大,、測(cè)量速度快、測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量,。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),，以及進(jìn)行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測(cè)量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

國(guó)產(chǎn)激光干涉儀SJ6000工作原理

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,，然后分成兩道光束,，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡,，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡,，重新匯聚之后返回激光器,，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時(shí),，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào),。

若光程差有變化時(shí),，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí),，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化,。