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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
YES–G1000手動等離子清洗刻蝕系統(tǒng)對于清潔,，剝離和表面改性,，等離子體是有毒化學(xué)物質(zhì)的有效替代品,，并且在表面上沒有殘留溶劑。 副產(chǎn)物是惰性的并且對環(huán)境安全,。 G1000的工作頻率為13.56MHz,，用戶可以從5種等離子模式中進(jìn)行選擇。 各向異性模式包括RIE和有源離子阱,； 各向同性模式包括下游（無電子）,，有源和下游離子阱。
•13.56 MHz的射頻等離子體
•手動等離子清洗刻蝕系統(tǒng)低壓環(huán)境
•下游侵蝕性等離子體
•溫度監(jiān)控器
•3個(gè)氣體輸入
•氣體輸入可包含更多深奧氣
體,，例如合成氣,，CF4和SF6
