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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
NX-2600全晶圓片整片基板帶對準(zhǔn)可多層次納米壓印加高分辨率光刻系統(tǒng)經(jīng)過了 大量的實(shí)時(shí)實(shí)地驗(yàn)證，質(zhì)量可靠,，性能*穩(wěn)定,。具備全部壓印模式： 熱固化、紫外固化和壓印,?；?保護(hù)的Nanonex氣墊軟壓技術(shù) （ACP），不論模版或基板背面粗糙程度如何,，或是模版或基板表面波 浪和弧形結(jié)構(gòu),，NX-2600均可對其校正補(bǔ)償從而獲得的壓印均 勻性， ACP消除了基板與模版之間側(cè)向偏移,，有效地延長了模版使用 壽命,。通過微小熱容設(shè)計(jì)可獲得快速的熱壓印周期，終得到快速的工 藝循環(huán),。
所有形式的納米壓印
? 熱塑化
? 紫外固化
? 熱壓與紫外壓印同時(shí)進(jìn)行
? 熱固化
氣墊軟壓技術(shù)(ACP)
? Nanonex技術(shù)
? 完美的整片基板納米壓印 均勻性
? 高通量
全晶圓片低于10nm分辨率
亞1微米正面對準(zhǔn)精度
背面對準(zhǔn)可選項(xiàng)
快速工藝循環(huán)時(shí)間（小于60秒）靈活性
? 4″, 6″, or 8″壓印面積可選 ? 各種尺寸及不規(guī)則形狀模
板與基板均可壓印
方便用戶操作
基于超過12年,、15代產(chǎn)品開發(fā) 經(jīng)驗(yàn)的自動(dòng)化壓印操作
Nanonex壓印系統(tǒng)經(jīng)過大量實(shí) 時(shí)實(shí)地驗(yàn)證，質(zhì)量可靠,，性 能*穩(wěn)定
全自動(dòng)納米壓印
技術(shù)參數(shù)
熱塑壓印模塊
? ● 溫度范圍0～250oC
? ●加熱速度>300oC/分鐘
? ●制冷速度>150oC/分鐘
? ●壓力范圍0 ～ 3.8 MPa（550 psi）
紫外固化模塊
? ● 200W窄帶紫外光源
? ●365納米或395納米波長可選
? ●全自動(dòng)化控制
對準(zhǔn)模塊
? ●X, Y, Z, Theta平臺(tái)
? ●分場光學(xué)和CCD相機(jī)
基板裝載
?● 標(biāo)配納米壓印系統(tǒng)可裝載4″基板
?● 6″和8″基板可選
?● 各種尺寸及不規(guī)則形狀模板及基
板均可壓印
? ●*保護(hù)ACP技術(shù)可大限度保護(hù)基板和模板,，特別對于象 磷化銦（InP）等極易碎模板和 基板給予大限度保護(hù)。
光刻
?● 標(biāo)配5”模板,，標(biāo)配4”直徑基板
?● 其他尺寸可以提供
?● 500瓦紫外水銀燈光源