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LEBO EZ6旋涂儀

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更新時間:2021-06-02 09:51:02瀏覽次數(shù):1131

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產(chǎn)品簡介

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LEBO EZ6旋涂儀耐用的不銹鋼機(jī)身,,具有耐化學(xué)腐蝕的透明旋轉(zhuǎn)蓋,,基板尺寸:從1厘米到6英寸晶圓

詳細(xì)介紹

其他:

1,、包括三個真空旋轉(zhuǎn)卡盤
2、耐用的設(shè)計以及耐化學(xué)腐蝕的材料
3,、耐化學(xué)腐蝕HDPE旋轉(zhuǎn)碗
4,、耐用的不銹鋼機(jī)身,具有耐化學(xué)腐蝕的透明旋轉(zhuǎn)蓋
5,、4.3”觸摸屏界面
6,、基板尺寸:從1厘米到6英寸晶圓
7、轉(zhuǎn)速范圍:100-12000 RPM
8,、轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM
9,、加速范圍:空載100-30000 RPM / s
10、安全:真空聯(lián)鎖和旋轉(zhuǎn)蓋聯(lián)鎖

LEBO EZ6旋涂儀技術(shù)參數(shù)

1,、旋涂基材6英寸或更小
2、包括三個真空旋轉(zhuǎn)卡盤
3,、用于手套箱的占地面積小
4,、易于使用的觸摸屏界面
5、可編程旋涂工藝
6,、
LEBO EZ6旋涂儀耐用的設(shè)計以及耐化學(xué)腐蝕的材料
7,、耐化學(xué)腐蝕HDPE旋轉(zhuǎn)碗
8、耐用的不銹鋼機(jī)身,,具有耐化學(xué)腐蝕的透明旋轉(zhuǎn)蓋
9,、4.3”觸摸屏界面
10、基板尺寸:從1厘米到6英寸晶圓
11,、轉(zhuǎn)速范圍:100-12000 RPM
12,、轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM
13、加速范圍:空載100-30000 RPM / s
14,、程序:10個旋轉(zhuǎn)程序,,每個程序有10個步驟
15、安全:真空聯(lián)鎖和旋轉(zhuǎn)蓋聯(lián)鎖
16,、尺寸:270(W)*387(D)*258(H)

 上海跡亞商貿(mào)有限公司(Gaia China Co.,Ltd.)是新加坡跡亞集團(tuán)(Gaia One International Pte. Ltd.)位于中國的子公司,。旗下的公司分布于新加坡,馬來西亞,,印尼和緬甸,。我們的工作團(tuán)隊經(jīng)驗豐富,技術(shù)力量強(qiáng)大,,為大學(xué),,科研機(jī)構(gòu)和工業(yè)企業(yè)提供實驗設(shè)備和工程設(shè)備,具備引導(dǎo)潮流的實力,。

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