目錄:蘇州佳業(yè)凈化設(shè)備有限公司>>變壓吸附制氮設(shè)備>> 半導(dǎo)體行業(yè)制氮機(jī)
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更新時(shí)間:2023-11-21 15:55:49瀏覽次數(shù):1682評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,化工,石油 |
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半導(dǎo)體行業(yè)用氮?dú)鈾C(jī),,半導(dǎo)體行業(yè)用制氮機(jī),,半導(dǎo)體行業(yè)用氮?dú)鈾C(jī),半導(dǎo)體行業(yè)用制氮機(jī)
變壓吸附的原理是在吸附平衡情況下,,任何一種吸附劑在吸附同一氣體時(shí),氣體壓力越高,,則吸附量越大,,反之,壓力越低,,則吸附量越小,。PSA制氮設(shè)備的部分是碳分子篩,在空氣壓力升高時(shí),,碳分子篩將大量吸附氧氣,、二氧化碳和水分,,當(dāng)壓力降到常壓時(shí),碳分子篩對(duì)氧氣,、二氧化碳和水分的吸附量非常小,。
半導(dǎo)體行業(yè)制氮機(jī)的技術(shù)指標(biāo):
流量3-3000Nm3 /h,
純度95%-99.9999%,,
壓力≤0.8MPa,,
露點(diǎn)≤-45℃.
1、壓縮空氣凈化組件
空氣壓縮機(jī)提供的壓縮空氣首先通入壓縮空氣凈化組件中,,壓縮空氣先由管道過濾器除去大部分的油,、水、塵,,再經(jīng)冷凍干燥機(jī)進(jìn)一步除水,、精過濾器除油、除塵,,并由在緊隨其后的超精過濾器進(jìn)行深度凈化,。根據(jù)系統(tǒng)工況,優(yōu)?;鶜怏w特別設(shè)計(jì)了一套壓縮空氣除油器,,用來防止可能出現(xiàn)的微量油滲透,為碳分子篩提供充分保護(hù),。設(shè)計(jì)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)目諝鈨艋M件確保了碳分子篩的使用壽命,。經(jīng)本組件處理后的潔凈空氣可用于儀表空氣。
2,、空氣儲(chǔ)罐
空氣儲(chǔ)罐的作用是:降低氣流脈動(dòng),,起緩沖作用;從而減小系統(tǒng)壓力波動(dòng),,使壓縮空氣平穩(wěn)地通過壓縮空氣凈化組件,,以便充分除去油水雜質(zhì),減輕后續(xù)PSA氧氮分離裝置的負(fù)荷,。同時(shí),,在吸附塔進(jìn)行工作切換時(shí),它也為PSA氧氮分離裝置提供短時(shí)間內(nèi)迅速升壓所需的大量壓縮空氣,,使吸附塔內(nèi)壓力很快上升到工作壓力,,保證了設(shè)備可靠穩(wěn)定的運(yùn)行。
3,、氧氮分離裝置
裝有專用碳分子篩的吸附塔共有A,、B兩只。當(dāng)潔凈的壓縮空氣進(jìn)入A塔入口端經(jīng)碳分子篩向出口端流動(dòng)時(shí),,O2,、CO2和H2O被其吸附,,產(chǎn)品氮?dú)庥晌剿隹诙肆鞒觥=?jīng)一段時(shí)間后,,A塔內(nèi)的碳分子篩吸附飽和,。這時(shí),A塔自動(dòng)停止吸附,,壓縮空氣流入B塔進(jìn)行吸氧產(chǎn)氮,,對(duì)并A塔分子篩進(jìn)行再生。分子篩的再生是通過將吸附塔迅速下降至常壓脫除已吸附的O2,、CO2和H2O來實(shí)現(xiàn)的,。兩塔交替進(jìn)行吸附和再生,完成氧氮分離,,連續(xù)輸出氮?dú)?。上述過程均由可編程序控制器(PLC)來控制。當(dāng)出氣端氮?dú)饧兌却笮≡O(shè)定值時(shí),,PLC程序作用,,自動(dòng)放空閥門打開,將不合格氮?dú)庾詣?dòng)放空,,確保不合格氮?dú)獠涣飨蛴脷恻c(diǎn),。氣體放空時(shí)利用消音器消聲使噪聲小于75dBA。
4,、氮?dú)饩彌_罐
氮?dú)饩彌_罐用于均衡從氮氧分離系統(tǒng)分離出來的氮?dú)獾膲毫图兌?,保證連續(xù)供給氮?dú)夥€(wěn)定。同時(shí),,在吸附塔進(jìn)行工作切換后,,它將本身的部分氣體回充吸附塔,一方面幫助吸附塔升壓,,另外也起到保護(hù)床層的作用,,在設(shè)備工作過程中起到極重要的工藝輔助作用。
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中小型制氮機(jī),,移動(dòng)式制氮機(jī),,空氣制氮機(jī),原料空氣制氮機(jī)。
本公司可提供產(chǎn)量從3-3000Nm3/h,,純度從95%——99.9995%的氮?dú)?,可廣泛應(yīng)用于化工、電子,、紡織,、煤炭、石油,、天然氣,、醫(yī)藥、食品,、玻璃,、機(jī)械、粉未冶金,、磁性材料等行業(yè),。
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