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Dhyana 9KTDI Pro(簡稱:D 9KTDI Pro)背照式TDI 相機基于先進的sCMOS 背照式減薄和TDI 時間積分技術(shù),,采用可靠穩(wěn)定的制冷封裝技術(shù),覆蓋從180 nm 紫外到1100 nm 近紅外寬光譜,有效提升紫外TDI線掃,、弱光掃描檢測能力,旨在為半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測,、半導(dǎo)體材料缺陷檢測,、基因測序等應(yīng)用提供更高效率、更穩(wěn)定的檢測支持,。
Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技術(shù),,已驗證的響應(yīng)波段可覆蓋180 nm – 1100 nm區(qū)域。256級 TDI技術(shù)可以大幅提升紫外(193nm/266nm/355nm等波段),、可見光,、近紅外等弱光成像信噪比,提高設(shè)備檢測精度,。
Dhyana 9KTDI Pro 配備CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口,,其傳輸效率相當于背照式 CCD-TDI 相機的54倍,顯著提升設(shè)備的檢測效率,。Dhyana 9KTDI Pro的相機行頻最高可達 9K @ 600 kHz,,為行業(yè)提供快速的多級TDI線掃描解決方案。
相機高速運行時產(chǎn)生的大量熱量,,不僅會影響成像質(zhì)量,,還會引起測量結(jié)果的波動,。鑫圖先進水冷和風冷技術(shù),確保相機制冷性能即使長時間運行也能保持穩(wěn)定狀態(tài),,降低設(shè)備誤檢率,。
型號:Dhyana 9KTDI Pro
傳感器類型:BSI sCMOS TDI
傳感器型號:Gpixel GLT5009BSI
量子效率:82% @ 550 nm, 50% @ 350 nm, 38% @ 800 nm
彩色 / 黑白:黑白
對角線尺寸:45.4 mm
有效面積:45.36 mm x 1.28 mm
分辨率:9072 ( H ) x 256 ( V )