目錄:上海波銘科學(xué)儀器有限公司>>光譜系統(tǒng)>>顯微缺陷膜厚>> 彩色濾光片,、光刻膠測量裝置 LCF SERIES
以透過光譜測量,、色測量為代表,通過濃度測量,、膜厚測量,、反射光譜測量等,可對應(yīng)彩色濾光片制造工程中的所有檢查的裝置
可用于彩色濾光片的光學(xué)特性或玻璃基板上膜的薄膜解析等各類評價(jià)
通過自動(dòng)對焦功能和自動(dòng)繪素位置相結(jié)合,,測量精度高,,登陸recipe實(shí)現(xiàn)完wan全自動(dòng)檢查
彩色濾光片評價(jià) | 色測量(透過光譜測量) 色度(XYZ,xy,,Lab,,L*a*b*,u’v’,,u*v*) 色差,,白平衡 |
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反射率測量 * | |
濃度(OD)測量 * | |
畫素幅測量 * | |
AF(自動(dòng)對焦),結(jié)合自動(dòng)繪素 * | |
膜厚評價(jià) | 膜厚測量 |
膜物性解析(n:折射率,k:消減系數(shù)) |
R, G, B, ITO, PI, PR, OC, BM
型號 | LCF series |
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樣品尺寸 | 50mm×50mm ~* |
檢出器 | 分光光度計(jì) ( MCPD檢出器 ),,PMT (option) |
圖像處理 | CCD相機(jī)及monitor 自動(dòng)對焦結(jié)合自動(dòng)繪畫素機(jī)構(gòu) |
Stage及測量部支架 | X-Y-Zstage自動(dòng)及手動(dòng)(電動(dòng)方式) |
* 也可用于大型玻璃基板(3000mm×3000mm以上)
彩色濾光片R,、G、B測量
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)