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Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍為 10 SLPM,、15 SLPM,、20 SLPM、50 SLPM,、100 SLPM,、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇,。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進(jìn)行全面的校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償,。
大于 10 SLPM 的 HAF 系列在經(jīng)校準(zhǔn)的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償?；?ASIC 的補(bǔ)償能實(shí)現(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應(yīng)時(shí)間,。
這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機(jī)電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成,，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上,。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計(jì)的氣流通道內(nèi)，提供對于流量的可重復(fù)響應(yīng),。
Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強(qiáng)的可靠性、高準(zhǔn)確度,、可重復(fù)測量等性能,，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應(yīng)用要求。堅(jiān)固外殼和穩(wěn)定基底相結(jié)合使得這些產(chǎn)品極其堅(jiān)固耐用,。它們的設(shè)計(jì)與制造符合 ISO 9001 標(biāo)準(zhǔn),。
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