SuperView W1-Pro3d輪廓形貌掃描儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器,。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓,，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,，應(yīng)變測量以及表面形貌測量?？筛采w8英寸及以下晶圓,，定制版真空吸附盤，穩(wěn)定固定Wafer,；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),，隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供微觀形貌相關(guān)的粗糙度和臺階高等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動(dòng)對焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測量中提供自動(dòng)拼接測量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測量等自動(dòng)化擴(kuò)展功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能；

部分參數(shù)

XY位移平臺

尺寸：300×300㎜

移動(dòng)范圍：200×200㎜

負(fù)載：10kg

控制方式：電動(dòng)

Z軸聚焦

行程：100mm

控制方式：電動(dòng)

Z向掃描范圍：10mm

形貌重復(fù)性：0.1nm

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階測量

準(zhǔn)確度：0.3%

重復(fù)性：0.08% 1σ

可測樣品反射率：0.05%~100%

SuperView W1-Pro3d輪廓形貌掃描儀可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

應(yīng)用

在3C領(lǐng)域,，可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片,、表殼等表面粗糙度,；

在LED行業(yè)，可以測量藍(lán)寶石,、碳化硅襯底表面粗糙度,；

在光纖通信行業(yè)，可以測量光纖端面缺陷和粗糙度,；

在集成電路行業(yè),，可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在EMES行業(yè),，測量臺階高度和表面粗糙度,；

在軍事領(lǐng)域，測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度,。