太陽能作為應(yīng)用廣、無排放,、無噪聲的環(huán)保能源,，在近些年迎來快速發(fā)展，而在各類型的太陽能電池及太陽能充電系統(tǒng)中,，多會鍍一層透明的ITO導(dǎo)電薄膜,，其鍍膜厚度對電池片的導(dǎo)電性能有著非常重要的影響，因而需要對鍍膜厚度進(jìn)行檢測與管控,。

由于ITO膜具有一定的透光性,，而硅基板具有較強(qiáng)的反射率，會對依賴反射光信號進(jìn)行圖像重建的光學(xué)輪廓儀造成信號干擾導(dǎo)致ITO膜厚圖像重建失真,，因此考慮采用接觸式輪廓儀對ITO膜厚進(jìn)行測量,，由于其厚度范圍從十幾納米到幾百納米，考慮到測量的同時不損傷樣件本身,，因而采用具有超微力可調(diào)和亞納米級分辨率的臺階儀最為合適,。

臺階儀是干什么的？在太陽能光伏行業(yè)能測什么,？

臺階儀是一種常用的膜厚測量儀器,，它是利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,，具有測量精度高,、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn),。它可以測量各種材料的膜層厚度,，包括金屬、陶瓷,、塑料等,。

CP200臺階儀

CP系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器,，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢,。

針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景，CP200臺階儀提供如下便捷功能：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺,，能夠快速定位到測量標(biāo)志位,；

2）對于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測量功能,，實(shí)現(xiàn)一鍵多點(diǎn)位測量,；

3）提供SPC統(tǒng)計(jì)分析功能，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢,；