一、具有高強(qiáng)度,、高度方向性,、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn),。目前常用來測量長度的干涉儀,，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng),。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置,、速度、角度,、真平度,、真直度,、平行度和垂直度等測量工作,，并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。
 

　　二,、經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋,。當(dāng)可動反射鏡移動時,，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形,、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L,。
 

　　三,、數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補(bǔ)償現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動測量,。它可對任意角度位置,，以任意角度間隔進(jìn)行全自動測量，其精度達(dá)±1,。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間,，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細(xì)節(jié),，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果,。