以共聚焦技術(shù)為原理,，用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的VT6000共聚焦顯微鏡，可對材料樣品的表面形貌直接進(jìn)行成像,，橫向分辨率可達(dá)1nm,，Z軸分辨率可達(dá)0.5nm。不僅可對樣品表面形貌進(jìn)行測量,，提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,，還提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。

其中粗糙度分析包括依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度,、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能,；幾何輪廓分析包括臺階高,、距離、角度、曲率等特征測量和直線度,、圓度形位公差評定等功能,；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能,；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能,。

《激光共聚焦顯微鏡原理及應(yīng)用》

VT6000共聚焦顯微鏡的構(gòu)造組成主要包括：顯微鏡、激光光源,、掃描裝置,、檢測器、計算機(jī)系統(tǒng)(包括數(shù)據(jù)采集,，處理,，轉(zhuǎn)換，應(yīng)用軟件),、圖像輸出設(shè)備,、光學(xué)裝置和共聚焦系統(tǒng)。

功能

在陶瓷,、金屬,、半導(dǎo)體、芯片等材料科學(xué)及生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中,，共聚焦顯微鏡有著廣泛的應(yīng)用,。以共聚焦顯微技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡，對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,。對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度、粗糙度,、波紋度,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。