熒光顯微鏡主要應(yīng)用在生物領(lǐng)域及醫(yī)學(xué)研究中,，能得到細(xì)胞或組織內(nèi)部微細(xì)結(jié)構(gòu)的熒光圖像,，在亞細(xì)胞水平上觀察諸如Ca2+ ,、PH值，膜電位等生理信號(hào)及細(xì)胞形態(tài)的變化,，是形態(tài)學(xué),，分子生物學(xué)，神經(jīng)科學(xué),，藥理學(xué),，遺傳學(xué)等領(lǐng)域中新一代強(qiáng)有力的研究工具。

以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡,，是用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器,。

材料科學(xué)的目標(biāo)是研究材料表面結(jié)構(gòu)對(duì)于其表面特性的影響。因此,，高分辨率分析表面形貌對(duì)確定表面粗糙度,、反光特性、摩擦學(xué)性能及表面質(zhì)量等相關(guān)參數(shù)具有重要意義,。共焦技術(shù)能夠測(cè)量各種表面反射特性的材料并獲得有效的測(cè)量數(shù)據(jù),。

VT6000共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等,，可以對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量,。在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中能對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

應(yīng)用

1.MEMS

微米和亞微米級(jí)部件的尺寸測(cè)量,，各種工藝（顯影，刻蝕,，金屬化,，CVD， PVD，CMP等）后表面形貌觀察,，缺陷分析,。

2.精密機(jī)械部件，電子器件

微米和亞微米級(jí)部件的尺寸測(cè)量,，各種表面處理工藝,，焊接工藝后的表面形 貌觀察，缺陷分析,，顆粒分析,。

3.半導(dǎo)體/ LCD

各種工藝（顯影，刻蝕,，金屬化,，CVD，PVD,，CMP等）后表面形貌觀察,， 缺陷分析 非接觸型的線寬，臺(tái)階深度等測(cè)量,。

4.摩擦學(xué),，腐蝕等表面工程

磨痕的體積測(cè)量，粗糙度測(cè)量,，表面形貌,，腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌。