熒光顯微鏡主要應用在生物領域及醫(yī)學研究中，能得到細胞或組織內部微細結構的熒光圖像，在亞細胞水平上觀察諸如Ca2+ 、PH值，膜電位等生理信號及細胞形態(tài)的變化，是形態(tài)學,，分子生物學，神經科學,，藥理學,，遺傳學等領域中新一代強有力的研究工具。

以共聚焦技術為原理的共聚焦顯微鏡,，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器,。

材料科學的目標是研究材料表面結構對于其表面特性的影響。因此,，高分辨率分析表面形貌對確定表面粗糙度,、反光特性、摩擦學性能及表面質量等相關參數(shù)具有重要意義,。共焦技術能夠測量各種表面反射特性的材料并獲得有效的測量數(shù)據,。

VT6000共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術，結合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等,，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。在材料生產檢測領域中能對各種產品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度、波紋度,、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

應用

1.MEMS

微米和亞微米級部件的尺寸測量,，各種工藝（顯影，刻蝕,，金屬化,，CVD， PVD,，CMP等）后表面形貌觀察,，缺陷分析。

2.精密機械部件,，電子器件

微米和亞微米級部件的尺寸測量,，各種表面處理工藝，焊接工藝后的表面形 貌觀察,，缺陷分析,，顆粒分析。

3.半導體/ LCD

各種工藝（顯影,，刻蝕,，金屬化，CVD,，PVD,，CMP等）后表面形貌觀察， 缺陷分析 非接觸型的線寬,，臺階深度等測量,。

4.摩擦學，腐蝕等表面工程

磨痕的體積測量,，粗糙度測量,，表面形貌，腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌,。