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激光干涉儀原理特點
一,、激光干涉儀,，以激光波長為已知長度,，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量,。
二,、激光具有高強度、高度方向性,、空間同調性,、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,，主要是以邁克爾遜干涉儀為主,，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,，構成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡,、反射鏡等來作線性位置,、速度、角度,、真平度、真直度,、平行度和垂直度等測量工作,，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
三,、位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度,、重復定位精度、微量位移精度等,。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,，同時可最大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到最佳精度,，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識,。
四、雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床,，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償,。
五,、數(shù)控機床動態(tài)性能檢測利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析(FFT),，滾珠絲杠的動態(tài)特性分析,，伺服驅動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性(低速爬行)分析等,。