一,、激光干涉儀,，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量,。
 

　　二,、激光具有高強(qiáng)度、高度方向性,、空間同調(diào)性,、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀,，主要是以邁克爾遜干涉儀為主,，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng),。激光干涉儀可配合各種折射鏡,、反射鏡等來作線性位置、速度,、角度,、真平度、真直度,、平行度和垂直度等測(cè)量工作,，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。
 

　　三,、位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度,、重復(fù)定位精度、微量位移精度等,。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差,，而且還能通過RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,，并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,，同時(shí)可最大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到最佳精度,，另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí),。
 

　　四、雙軸定位精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床,，由雙伺服驅(qū)動(dòng)某一軸向運(yùn)動(dòng)的定位精度,，而且還能通過RS232接口,，自動(dòng)對(duì)兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。
 

　　五,、數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估軟件,，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析(FFT)，滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析,，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性(低速爬行)分析等。