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激光干涉儀快速檢測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)垂直度
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量精度高,、效率高,,廣泛應(yīng)用在精密加工檢測(cè)領(lǐng)域。它與數(shù)控機(jī)床是保證工件測(cè)量與加工精度的關(guān)鍵設(shè)備,。其中作為高精度的測(cè)量基準(zhǔn),,幾何誤差的快速、高精度檢測(cè)技術(shù)都是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)性能提升的關(guān)鍵,。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)運(yùn)行速度的加快,,動(dòng)態(tài)誤差往往會(huì)比靜態(tài)/準(zhǔn)靜態(tài)誤差對(duì)測(cè)量精度影響更大。特別在高速測(cè)量過程中,,產(chǎn)生的自激振動(dòng)和受迫振動(dòng),都會(huì)產(chǎn)生動(dòng)態(tài)誤差,。激光干涉儀是常用的機(jī)床,、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)幾何誤差檢測(cè)的手段。
其中垂直度測(cè)量是通過比較正交軸的直線度值從而確定正交軸的非直角度,。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的垂直度誤差可能是導(dǎo)軌磨損,、事故造成導(dǎo)軌損壞、機(jī)器地基差,、正交軸上兩原點(diǎn)傳感器未準(zhǔn)直等因素造成的,,垂直度誤差將對(duì)機(jī)器的定位精度及插補(bǔ)能力產(chǎn)生直接影響。SJ6000激光干涉儀以光波為載體,,在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件的配合下,,可實(shí)現(xiàn)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的垂直度檢測(cè)分析。
垂直度測(cè)量構(gòu)建
SJ6000激光干涉儀垂直度的測(cè)量是直線度測(cè)量在二維方向上的延伸,。垂直度測(cè)量由正交軸的兩組直線度測(cè)量組成,,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn),,在測(cè)量過程中保持原為,且不進(jìn)行調(diào)整,;光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測(cè)量中,,允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差=光學(xué)直角尺誤差-斜度θ1-斜度,。
SJ6000激光干涉儀
垂直度測(cè)量的光路原理構(gòu)件圖
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)XY軸的垂直度測(cè)量