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桌面型原子層沉積系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2024/07/04 14:53:06瀏覽次數(shù):2377

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桌面型原子層沉積系統(tǒng)由哈佛大學(xué)納米科學(xué)中心薄膜沉積工藝研究科學(xué)家Dr. Philippe de Rouffignac設(shè)計(jì),基于多年納米薄膜制備的經(jīng)驗(yàn)以及對(duì)科研工作者切實(shí)研究需要的了解,推出了此桌面型原子層沉積系統(tǒng)。

詳細(xì)介紹

詳細(xì)說明:

桌面型原子層沉積系統(tǒng)哈佛大學(xué)納米科學(xué)中心薄膜沉積工藝研究科學(xué)家Dr. Philippe de Rouffignac設(shè)計(jì),,基于多年納米薄膜制備的經(jīng)驗(yàn)以及對(duì)科研工作者切實(shí)研究需要的了解,推出了此桌面型原子層沉積系統(tǒng),。


主要特點(diǎn):
1.腔室專為R&D設(shè)計(jì)和優(yōu)化,,樣品尺寸達(dá)直徑4’’,可升級(jí)至6'';
2.反應(yīng)腔溫度可控范圍:RT-350℃,;
3.前驅(qū)體源溫度可控范圍:RT-150℃,;
4.腔室處理壓力可控范圍:0.1-1.5 torr;
5.源擴(kuò)展多達(dá)5個(gè),;
6.快速循環(huán)處理功能,;
7.氣路優(yōu)化設(shè)計(jì)、腔體小型化設(shè)計(jì),;
8.一分鐘多達(dá)6-10,;
9.成熟的薄膜Recipes內(nèi)置程序;
10.觸屏PLC控制,;
11.可配套手套箱使用,;
12.可配備臭氧發(fā)生器;

13.可定制樣品夾具,;

14.相比于市場(chǎng)上同類產(chǎn)品體積相對(duì)偏小,,可以放置在凈化間;

15.可實(shí)現(xiàn)前驅(qū)體劑量的控制,。


可處理材料:

桌面型原子層沉積系統(tǒng)





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