電池電極應力測試系統(tǒng)主要有哪些特點?
電池電極應力測試系統(tǒng)主要特點:
1、MOS 多光束傳感器技術(shù),。
2,、單Port(樣品正上方)和雙Port(對稱窗口)系統(tǒng)設(shè)計。
3、適合MOCVD, MBE, Sputter,,PLD,、蒸収系統(tǒng)等各種真空薄膜沉積系統(tǒng)以及熱處理設(shè)備等。
4,、薄膜應力各向異性測試和分析功能,。
5、生長速率和薄膜厚度測量,。(選件)
6,、光學常數(shù)n&k 測量。(選件)
7,、多基片測量功能,。(選件)
8、基片旋轉(zhuǎn)追蹤測量功能,。(選件)
9,、實時光學反饋控制技術(shù),系統(tǒng)安裝時可設(shè)置多個測試點,。
10,、專業(yè)設(shè)計免除了測量丌受真空系統(tǒng)振動影響。
測試示意圖: