電池電極應(yīng)力測試系統(tǒng)主要有哪些特點,?
電池電極應(yīng)力測試系統(tǒng)主要特點:
1,、MOS 多光束傳感器技術(shù)。
2,、單Port(樣品正上方)和雙Port(對稱窗口)系統(tǒng)設(shè)計,。
3,、適合MOCVD, MBE, Sputter,PLD,、蒸収系統(tǒng)等各種真空薄膜沉積系統(tǒng)以及熱處理設(shè)備等,。
4、薄膜應(yīng)力各向異性測試和分析功能,。
5,、生長速率和薄膜厚度測量。(選件)
6,、光學(xué)常數(shù)n&k 測量。(選件)
7,、多基片測量功能,。(選件)
8、基片旋轉(zhuǎn)追蹤測量功能,。(選件)
9,、實時光學(xué)反饋控制技術(shù),系統(tǒng)安裝時可設(shè)置多個測試點,。
10,、專業(yè)設(shè)計免除了測量丌受真空系統(tǒng)振動影響。
測試示意圖: