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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣 |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
牛津電子束鍍膜機是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù),。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬,，使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜?？烧舭l(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機是英國牛津真空公司生產(chǎn)，臺式設(shè)計,、軟件自動操控,、高性價比，非常適合實驗室科研使用。
牛津電子束鍍膜機技術(shù)規(guī)格：
- 基底尺寸：3英寸,，4英寸,，6英寸；
- 基底旋轉(zhuǎn)：0~10rpm,；
- 電子束源：Telemark電子束源,，單袋或多袋電子束源可選；
- 熱蒸發(fā)源：多配置2套熱蒸發(fā)舟(選配),；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇,；
- 泵：前級干泵，分子泵,；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸,，高真空，支持多種樣品襯底(選配),；
- 工藝控制：PC/PLC機制的自動控制,、數(shù)據(jù)處理、遠程支持,；
- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(QCM),，光學監(jiān)測，殘余氣體分析,，其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制,；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式,；
- 襯底夾具：加熱,，冷卻，偏置,，旋轉(zhuǎn)等,；
參考用戶：
清華大學、廈門大學,、華中科大,、廣東工大、深圳大學,、蘭州理工大學,、重慶石墨烯研究院等。
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