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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,印刷包裝,電氣 |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)
VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國牛津真空公司生產(chǎn)，臺式設(shè)計,、軟件自動操控,、高性價比，非常適合實驗室科研使用,。 通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一,。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd,、Pb、Ag,、Al、Cu,、Cr,、Au、Ni等材料,。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖,。
VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國牛津真空公司生產(chǎn)，臺式設(shè)計,、軟件自動操控,、高性價比，非常適合實驗室科研使用,。
通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一,。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd,、Pb、Ag,、Al,、Cu、Cr,、Au,、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。
技術(shù)規(guī)格：
- 基底尺寸：3英寸,，4英寸,，6英寸；
- 基底旋轉(zhuǎn)：0~10rpm,；
- 熱蒸發(fā)源：電阻式熱蒸發(fā)舟,，交流電源；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇,；
- 泵：前級干泵,，分子泵；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸,，高真空,，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動控制,、數(shù)據(jù)處理,、遠(yuǎn)程支持；
- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(QCM),，光學(xué)監(jiān)測,，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制,；
- 襯底固定：單襯底固定,，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱,，冷卻,，偏置，旋轉(zhuǎn)等,；
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