德國SPS(POLOS)勻膠機(jī)儀器POLOS SPIN4000A
我們產(chǎn)品組合中的新產(chǎn)品是POLOS SPIN4000A,。這種強(qiáng)大的旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)系統(tǒng)是專為研究和所有應(yīng)用的可變過程,。
德國SPS(POLOS)勻膠機(jī)儀器POLOS SPIN4000A
產(chǎn)品說明
我們產(chǎn)品組合中的新產(chǎn)品是POLOS SPIN4000A,。這種強(qiáng)大的旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)系統(tǒng)是專為研究和所有應(yīng)用的可變過程,。它的特點(diǎn)是能夠全自動操作,。POLOS SPIN4000A代表了下一代全場旋涂系統(tǒng),。
POLOS SPIN4000A是一款獨(dú)立的全自動旋涂系統(tǒng),。鋼制外殼保證了無污染的工作區(qū)域,,其組件確保了可重復(fù)、可編程的旋轉(zhuǎn)過程,,可反復(fù)旋轉(zhuǎn)高達(dá)300 x 300mm毫米的基板,。
特征
多達(dá)3個噴嘴的自動光刻膠分配器(可選)
8.5英寸觸摸屏
真空泵
上蓋(可選)
可定制,,全自動操作
無污染工作區(qū)
組件
多達(dá)3個噴嘴的自動光刻膠分配器(可選)
產(chǎn)品編號
自旋4000
材料
鋼制外殼
基板尺寸
300毫米或8英寸x 8英寸正方形基板
模型
獨(dú)立的
系統(tǒng)類型
自動化系列
德國SPS(POLOS)勻膠機(jī)儀器POLOS SPIN4000A