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Hitachi日立高新離子研磨裝置IM4000

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更新時間:2020-08-19 14:42:15瀏覽次數(shù):694

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Hitachi日立高新離子研磨裝置(HITACHI Ion Milling System IM4000 )具有斷面加工和平面研磨功能的混合儀器,!
日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )的混合模式帶有兩種研磨配置:
斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,,便于表面以下結(jié)構(gòu)高分辨成像,。
平面研磨:將樣品表面均勻研磨5平方毫米,從不同角度有選擇

詳細介紹

Hitachi日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000  )具有斷面加工和平面研磨功能的混合儀器,!

日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000  )的混合模式帶有兩種研磨配置:
斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,,便于表面以下結(jié)構(gòu)高分辨成像。
平面研磨:將樣品表面均勻研磨5平方毫米,,從不同角度有選擇地研磨,,以便突出樣品的表面特性。

日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000  )的高通量能提高加工效率:與之前的E-3500型相比,,采用新型離子槍設計,,減少了橫截面研磨時間。(大加工率:硅元素為300微米/小時--加工時間減少了66%,。

日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000  )的可拆卸樣品臺裝置:為便于樣品設置和定義研磨邊緣,,可將樣品臺裝置拆卸。
 

Hitachi日立高新離子研磨裝置IM4000?特點

混合模式:兩種研磨配置
斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,,便于表面高分辨觀察
平面研磨:不同角度有選擇地,,大面積,均勻地研磨5 mm的平面,,以突顯樣品的表面特性

高效:提高加工效率,,與之前的E-3500型相比,采用新型離子槍設計,,減少了橫截面研磨時間(大加工速度:硅材質(zhì)為300 μm/h - 加工時間減少了66%)

可拆卸式樣品臺:為便于樣品設置和邊緣研磨,,樣品臺設計為可拆卸型

規(guī)格

項目描述
斷面加工臺平面研磨臺
氣源氬氣(Ar)
加速電壓0-6Kv
大研磨速率﹡¹﹡²(硅材質(zhì))約300μm/h﹡¹﹡²

約20μm/h﹡³(點)

約2μm/h﹡?(面)

大樣品尺寸20(W)×12(D)×7(H)mmΦ50×25(H)mm
樣品移動范圍X±7mm,Y0-+3mmX0-+5mm
旋轉(zhuǎn)角度-1r/m,25r/m
擺動角度±15°,,±30°,,±40°±60°,±90°
傾斜-0-90°
氣體流量控制系統(tǒng)流量調(diào)節(jié)器
排氣系統(tǒng)渦輪分子泵(33L/S)+機械泵(50Hz時,,135L/min,60Hz時,,162L/min)
儀器外觀尺寸616(W)×705(D)×312(H)mm
儀器重量主機48kg+機械泵28Kg
可選附件光學顯微鏡(用于觀測研磨中的樣品)

﹡¹:此研磨速率是對研磨板邊緣處的硅材質(zhì)的材料研磨至100μm粒度時所獲得的大深度值

﹡²:此研磨速率是對硅材質(zhì)的材料進行研磨兩小時后獲得的平均值

﹡³:照射角度60°偏心值4mm

﹡?:照射角度0°偏心值0mm

 

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