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加熱卡盤

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更新時間:2021-11-17 15:51:01瀏覽次數(shù):1502

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,電氣
加熱卡盤:如果實驗樣品需要在不同溫度下進行分析測量,這時就可能需要熱吸盤(Hot Chuck)或者低溫(Cryogenic)系統(tǒng),
在較高溫度或低溫下還可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber),。

詳細介紹

如果實驗樣品需要在不同溫度下進行分析測量,這時就可能需要熱吸盤(Hot Chuck)或者低溫(Cryogenic)系統(tǒng),
在較高溫度或低溫下還可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber),。

熱吸盤(Hot Chuck)
1.采用低噪聲直流驅(qū)動
2.絕緣套件用于低電流(pA)測試
3. 配備水冷裝置,,快速將加熱卡盤降至室溫
4. 大多數(shù)探針臺可安裝
5. 不需特殊連接適配器即可安裝
6. 卡盤材質(zhì)為不銹鋼,以獲取均溫性,,避免重金屬沾污
7. 配備溫度控制器,,可選多種加溫曲線
8. 設(shè)計有冷卻隔絕裝置,熱吸盤溫度不會通過金屬傳導(dǎo)而引起探針臺整體精度下降

加熱卡盤規(guī)格:

卡盤尺寸

3", 4'', 6'', 8'', 12" dia. x 1'' Thick

卡盤平坦度

+/-10μm

溫度范圍

RT-200?C

溫度分辨率

0.1?C

溫度度

100?C,±0.5?C; 200?C,±1?C; 300?C,±2?C; 400?C,±3?C

從25?C加熱到    
   4英寸卡盤所需時間(典型值)

100?C,  150?C,  200?C
2:00      3:30     5:00

4英寸卡盤所需時間  2:00 ,、  3:30   ,、5:00


加熱驅(qū)動方式

直流

材料

不銹鋼

 

電源

110 VAC, 60Hz
220 VAC, 50Hz

加熱功率

4'' 700W ;  6'' 1000W ;  8'' 1500 W

真空泵

-250 mmHg, 7 liter/min

水流量

20 升/分鐘


溫度控制器
尺寸
重量

 
350mmW x 300mmD x 150mmH
20 kg

 

附件與升級:
溫度高可達 300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃, 800 ℃
溫度低可達 5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫77 °K
連接適配器,用于與其他品牌探針臺的裝配
方形卡盤,,根據(jù)要求定制
更高精度,、高均勻性、快速升溫等,,根據(jù)要求定制
水冷卻槽
絕緣套件,,用于低電流測試
液晶套件
真空罐
C-V測量附件
測量儀器與帶腳輪的儀器機柜
真空圈,客戶訂制
鍍金卡盤
鍍鎳卡盤


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