導(dǎo)電四探針方阻電阻測(cè)試儀根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配,。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測(cè)試硅類半導(dǎo)體,、金屬,、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻,；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜,、金屬涂層或薄膜,、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具,，還可對(duì)電阻器體電阻,、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量,。配專用探頭,，也可測(cè)試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。

導(dǎo)電四探針方阻電阻測(cè)試儀運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器,。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1552-1995《硅,、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),。

覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高,、低溫電熱膜;隔熱,、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜,、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽,、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié),、濺射,、涂覆、涂布層,，電阻式,、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料,、薄膜材料方阻測(cè)試

硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層,、外延層,、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻  半導(dǎo)體材料/晶圓,、太陽能電池,、電子元器件，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等）,，金屬膜,，導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜,，PCB銅箔膜，EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率  導(dǎo)電性油漆,，導(dǎo)電性糊狀物,，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠,，導(dǎo)電性薄膜,，金屬薄膜， EMI 防護(hù)材料,，導(dǎo)電性纖維,，導(dǎo)電性陶瓷等，提供中文或英文兩種語言操作界面選擇

注意事項(xiàng)：

　　1,、儀器操作前請(qǐng)您仔細(xì)閱讀使用說明書，規(guī)范操作

　　2,、輕拿輕放,，避免儀器震動(dòng)，水平放置,，垂直測(cè)量

　　3,、儀器不使用時(shí)請(qǐng)切斷電源,，連接線無需經(jīng)常拔下,，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象

　　4,、探針筆測(cè)試結(jié)束,，套好護(hù)套,，避免人為斷針

　　本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠,、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試,。

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度,、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué),，直觀使用,；

2. 基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻,、電阻、電阻率,、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示,。

3. 精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.05％,；方阻基本準(zhǔn)確度：3%；電阻率基本準(zhǔn)確度：3%

4. 整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差：≤±3%,；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±3%

5. 四位半顯示讀數(shù),；八量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試；

6. 測(cè)量范圍寬： 電阻：10-4Ω～105Ω ,；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□,；

7. 正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差

8. 恒流源：電流量程分為： 1uA,、10uA、100uA,、1mA,、10mA 、100mA六檔,；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件,，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上,，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火,。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無影響時(shí),，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài),。

9. 可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試,。

10. 校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零,。

11. 厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無需查表即可計(jì)算出電阻率,。

12. 自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

13. 雙電測(cè)測(cè)試模式,，測(cè)量精度高,、穩(wěn)定性好.

14. 具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來的測(cè)試結(jié)果偏差,。

15. 比較器判斷燈直接顯示,，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高,。

3檔分選功能：超上限，合格,，超下限,，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示,；也可通過USB接口,、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

16. 測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試,、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。

17. 豐富的接口,，Handler接口,、RS232接口、USB HOST,、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制,。U盤可記錄測(cè)試數(shù)據(jù)

18. 軟件功能（選配）：軟件可記錄,、保存,、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分

析,。

標(biāo)配：測(cè)試平臺(tái)一套,、主機(jī)一套,、電源線數(shù)據(jù)線一套,。