一,、產(chǎn)品概述

HRSR膜厚傳感器提供半導(dǎo)體復(fù)雜膜層在線量測解決方案,。

二,、膜厚傳感器產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 超精密厚度測量,，滿足5μm-800um的厚度監(jiān)測 ,；

■ 可測量所有具有粗糙、反射或不透明表面 ,；

■ 對惡劣的工業(yè)環(huán)境適應(yīng)性高 ,；

■ 對熱、濕或振動不敏感,；

■ 采樣速率大于3KHz,。

三、測量原理

技術(shù)參數(shù)

武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國內(nèi)專業(yè)從事橢偏儀以及光學(xué)納米測量設(shè)備研發(fā),、制造與銷售的高新技術(shù)企業(yè),，公司由多位具有二十多年偏振光學(xué)測量經(jīng)驗(yàn)的專家聯(lián)合創(chuàng)辦，與華中科技大學(xué)緊密合作,，是國內(nèi)橢偏光學(xué)儀器領(lǐng)域頗具優(yōu)勢的技術(shù)團(tuán)隊(duì),。

公司注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū)，立足光谷,，面向全球,，為科研和工業(yè)用戶提供儀器、軟件,、服務(wù)等綜合解決方案,。

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體,、光伏太陽能,、平板顯示、LED照明,、存儲,、生物、醫(yī)藥,、化學(xué),、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜,、光刻材料等眾多領(lǐng)域,。