一、概述

       SR-M 針對(duì)特定微小區(qū)域,，可提供微米級(jí)的聚焦光斑,，同時(shí)利用顯微物鏡定位測(cè)量點(diǎn)，從而獲取精準(zhǔn)位置的厚度表征結(jié)果,。

■ 光斑大小可進(jìn)行定制,，最小可達(dá)到10um；

■ 非接觸,、非破壞測(cè)量,；

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析,；

■ 配置靈活,、支持定制化

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 采用高強(qiáng)度鹵素光源,，光源穩(wěn)定性好,；

■ 采用光機(jī)電高度整合一體化設(shè)計(jì)，體積小,，操作簡(jiǎn)便,；

■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層,；

三,、產(chǎn)品應(yīng)用

        顯微膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護(hù)膜、有機(jī)薄膜,、無(wú)機(jī)薄膜,、金屬膜、涂層等薄膜測(cè)量,。

技術(shù)參數(shù)