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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	價格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合

LTS系列干涉測厚傳感器全面產(chǎn)品介紹

國產(chǎn)納米級白光干涉測厚儀

一、產(chǎn)品概述

　　LTS系列白光干涉測厚儀基于白光干涉原理,，專為薄膜,、涂層厚度測量設(shè)計，具備納米級精度,、超快采樣速度及寬范圍適應(yīng)性,，適用于半導(dǎo)體、新能源,、光學(xué)薄膜等高duan制造領(lǐng)域,。

二、白光干涉測厚儀的核心優(yōu)勢(產(chǎn)品亮點)

　　超高精度

　　重復(fù)精度達 1nm,，線性誤差 ±20nm,，實現(xiàn)納米級厚度測量。

　　非接觸式測量，避免接觸損傷樣品表面,。

　　超快速度與寬范圍

　　最高 10kHz 采樣頻率,，滿足高速動態(tài)測量需求。

　　超大測厚范圍：常規(guī)型號厚度測量范圍 1μm~2500μm(折射率 1.5 時),，適配不同薄膜厚度場景,。

　　環(huán)境適應(yīng)性強

　　抗干擾能力強，不受電磁干擾影響,。

　　寬范圍工作距離,，部分型號建議安裝距離 5-10mm，兼容復(fù)雜工況,。

　　零發(fā)熱探頭設(shè)計：探頭內(nèi)部無電子元件,，避免發(fā)熱導(dǎo)致的夾具變形和光軸偏移，確保長期穩(wěn)定測量,。

　　光源技術(shù)升級

　　超高亮度彩色激光光源：通過藍光激發(fā)熒光體生成多色光,，較傳統(tǒng)白色 LED 光源，發(fā)光波段更廣,、亮度更穩(wěn)定,，提升干涉信號解析精度。國產(chǎn)納米級白光干涉測厚儀

三,、測量原理

　　利用白光干涉現(xiàn)象：

　　光源發(fā)射：白色點光譜經(jīng)干涉探頭照射到樣品表面,，薄膜上下表面反射光(反射光 1、反射光 2)產(chǎn)生相位差,，形成彩色干涉條紋,。

　　信號解析：通過解析干涉條紋的相位差與光程差關(guān)系，計算薄膜厚度(厚度與相位差直接相關(guān)),。

　　非接觸測量：無需接觸樣品,，通過光譜信號處理實時獲取厚度值。

四,、白光干涉測厚儀的技術(shù)參數(shù)與型號配置

型號	LTS-100	LTS-100W	LTS-50	LTS-50W
適配探頭	LTP-T50（聚焦光點,，Φ100μm）	LTP-T10-UV-VIS（彌散光斑，10mm 距離時 Φ4mm）	LTP-T50	LTP-T10-UV-VIS
參考距離	50mm	非聚焦探頭	50mm	非聚焦探頭
測量范圍	±2mm（厚度：2μm~100μm,，折射率 1.5 時）	建議安裝距離 5-10mm（厚度：1μm~50μm,，折射率 1.5 時）	±2mm	建議安裝距離 5-10mm
精度指標(biāo)	重復(fù)精度 1nm，線性誤差 ±20nm	重復(fù)精度 1nm,，線性誤差 ±20nm	重復(fù)精度 1nm,，線性誤差 ±20nm	重復(fù)精度 1nm，線性誤差 ±20nm
測量角度	±3°	±10°	±3°	±10°
采樣頻率	最高 10kHz	最高 10kHz	最高 10kHz	最高 10kHz
探頭規(guī)格	Φ30×58mm,，90g,，IP40 防護	Φ6.35×65mm,，輕量化設(shè)計	Φ30×58mm，90g,，IP40 防護	Φ6.35×65mm,，輕量化設(shè)計
接口	Ethernet（100BASE-TX）、USB2.0,、RS-485（Modbus 協(xié)議）	同左	同左	同左
電源	24VDC±10%,，電流 0.4A	同左	同左	同左
工作環(huán)境	溫度 0~50℃，濕度 20~85% RH（無冷凝）	同左	同左	同左

五,、典型應(yīng)用場景

　　電子行業(yè)：觸摸屏 ITO 膜厚測量,、UTG 超薄柔性玻璃厚度檢測。

　　新能源：鋰電隔膜厚度在線監(jiān)測,、光伏薄膜均勻性檢測,。

　　材料科學(xué)：PET 多層膜材厚度分層測量、光學(xué)涂層厚度控制,。

　　精密制造：半導(dǎo)體晶圓薄膜沉積厚度監(jiān)控、微納結(jié)構(gòu)表面形貌分析,。

六,、配套支持

　　軟件與開發(fā)：

　　上位機軟件 TSConfocalStudio，支持實時數(shù)據(jù)顯示與分析,。

　　提供 C++/C# 二次開發(fā)包,，便于集成至自動化產(chǎn)線。

　　硬件適配：

　　支持編碼器觸發(fā)與脈沖 / 電平觸發(fā)輸入,，兼容多種工業(yè)控制信號,。

　　模擬信號輸出(±10V 電壓 / 4~20mA 電流)與數(shù)字信號輸出(警報、比較器),，滿足不同設(shè)備接口需求,。

七、白光干涉測厚儀的設(shè)計亮點

　　緊湊輕量化：最小探頭直徑僅 6.35mm,，適合狹小空間安裝,。

　　光纖設(shè)計：光纖接頭預(yù)留距離 100mm，靜態(tài) / 動態(tài)彎曲半徑分別為 30mm/60mm,，

提升布線靈活性,。

　　長期穩(wěn)定性：無發(fā)熱探頭結(jié)構(gòu)，避免溫度漂移影響,，確保高精度持續(xù)測量,。

總結(jié)

　　LTS系列干涉測厚傳感器以納米級精度、超快響應(yīng)和高可靠性,，成為薄膜厚度測量的理想選擇,，廣泛應(yīng)用于高duan制造的質(zhì)量控制與工藝優(yōu)化,，助力客戶實現(xiàn)精密測量與生產(chǎn)效率提升。

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