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蔡司雙束電鏡 Crossbeam系列
 

[產(chǎn)品簡(jiǎn)介]

蔡司雙束電鏡Crossbeam系列，是專(zhuān)為高通量3D分析和樣品加工制備量身打造的FIB-SEM雙束電鏡,。該系列將場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)鏡筒強(qiáng)大的成像和分析性能與全新一代聚焦離子束(FIB)鏡筒出色的加工能力相結(jié)合,。無(wú)論是加工、成像或進(jìn)行3D分析,，都能在不損失精度的前提下,，提高聚焦離子束的應(yīng)用效率。模塊化的平臺(tái)概念可以進(jìn)行后續(xù)系統(tǒng)升級(jí),，從而滿足您不斷增加的應(yīng)用需求,。通過(guò)加裝飛秒激光（Femtosecond Laser）模塊，Crossbeam的加工效率和尺度可進(jìn)一步拓展,，同時(shí)可以滿足多種微納加工需求,。無(wú)論是在科研實(shí)驗(yàn)室或工業(yè)環(huán)境中工作，抑或是單用戶或多用戶工作環(huán)境,，都能提供高質(zhì)量的解決方案,。
 

一、[產(chǎn)品特點(diǎn)]

1,、低電壓下獲得高分辨率電子圖像,；

2、可實(shí)現(xiàn)大尺寸到納米精度的切割；

3,、批量自動(dòng)制備TEM薄片樣品,；

4、Atlas 5可創(chuàng)建多尺度,、多模式綜合圖像,；

5、ToF-SIMS 實(shí)現(xiàn)高通量3D成分分析,；

6,、無(wú)漏磁電子鏡筒實(shí)現(xiàn)真正邊切邊看；

7,、不導(dǎo)電樣品不受荷電效應(yīng)影響,；

8、加裝飛秒激光模塊,，實(shí)現(xiàn)亞毫米級(jí)快速加工,，同時(shí)有效避免腔室污染；
 

二,、[應(yīng)用領(lǐng)域]

1,、生命科學(xué)，如斷層掃描,，三維重構(gòu),；

2、電池領(lǐng)域,，如組分表征,；

3、半導(dǎo)體領(lǐng)域,，如失效分析,，電路修復(fù)；

4,、金屬領(lǐng)域,，如界面分析，亞表面分析,；

5,、材料科學(xué)，如晶體微觀結(jié)構(gòu)分析,，微納圖形加工,；

6、透射電鏡,、原子探針（ATP）,、EBSD,、微納力學(xué)等多種樣品的原位制備。
 

GaN HEMT器件TEM樣品制備

                                    在硅基底上加工納米微流通道

                                       3D NAND連續(xù)層析成像

Laser大截面快速加工及IC中微柱截面背散射電子成像

                                        原子探針樣品制備

                                        線蟲(chóng)三維成像