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詳細(xì)介紹
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC系列SC-701MkⅡ
特征
- 直流濺射類別中系列中小的超緊湊機(jī)型
- 配備皮拉尼真空計(jì),，以確保成膜條件的可重復(fù)性
- 配備手動(dòng)百葉窗作為標(biāo)準(zhǔn)裝備
- 使用專yong的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松更改TS之間的距離。
- 由于可以涂鎢,，因此也可以用于制備高分辨率SEM的樣品,。
應(yīng)用/結(jié)果示例
- 各種設(shè)備的電極膜附件
- 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用?
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC系列SC-701MkⅡ
基本規(guī)格
| 陰極 | φ2英寸直流磁控管/平板型電極 |
| 適用對(duì)象 | 金/鉑/金-鈀/鉑-鈀/銀/鈀/鎢/鎳/鉬/鉻/鈦/鋁 |
| 壓力測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì) |
| 壓力控制 | 針閥手動(dòng)控制 引入直徑外徑φ6mm一鍵式安裝 |
| 工藝氣體 | 氬氣 |
| 真空泵 | 直聯(lián)式旋轉(zhuǎn)泵：20L / min（帶自動(dòng)泄漏） |
| 箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ90×D90mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門開合式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 機(jī)身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm |
| 重量 | 身體：9公斤RP：9公斤 |
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