產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 50萬-80萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,印刷包裝,電氣 |
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
半導體行業(yè)低相位差高速檢查設(shè)備 RE-200
半導體行業(yè)低相位差高速檢查設(shè)備適用于光軸的高精度管理,! 3σ≦0.02°
低相位差測量
產(chǎn)品信息
特 點
• 可測從0nm開始的低(殘留)相位差
• 光軸檢出同時可高速測量相位差(Re.)
(相當于0.1秒以下來處理)
• 無驅(qū)動部,重復再現(xiàn)性高
• 設(shè)置的測量項目少,,測量簡單
• 測量波長除了550nm以外,,還有各種波長
• Rth測量、方位角測量
(需要option的自動旋轉(zhuǎn)傾斜治具
• 通過與拉伸試驗機組合,,可同時評價膜的偏光特性和光弾性
(本系統(tǒng)屬特注,。)
測量項目
• 相位差(ρ[deg.], Re[nm])
• 主軸方位角(θ[deg.])
• 橢圓率(ε)?方位角(γ)
• 三次元折射率(NxNyNz)
用 途
• 位相差膜、偏光膜,、橢圓膜,、視野角改善膜、各種功能性膜
• 樹脂,、玻璃等透明,、非均質(zhì)材料(玻璃有變形,歪曲等)
原 理
• 什么是RE-200
• RE-200是光子結(jié)晶素子(偏光素子),、CCD相機構(gòu)成的偏光計測模塊和透過的偏光光學系相組合,,可高速且高精度的測量位相差(相位差)、及主軸方位角,。CCD相機1次快門獲取偏光強度模式,,沒有偏光子旋轉(zhuǎn)的機構(gòu),系統(tǒng)整體上是屬于小型構(gòu)造,,長時間使用也能維持穩(wěn)定的性能,。
仕 樣
型號 | RE series |
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樣品尺寸 | 小10×10mm ~大100×100mm |
測量波長 | 550nm (標準仕樣)※1 |
相位差測量范圍 | 約0nm ~約1μm |
軸檢出重復精度 | 0.05°(at 3σ) ※2 |
檢出器 | 偏光計測模塊 |
測量光斑直徑 | 2.2mm×2.2mm |
光源 | 100W 鹵素燈或 LED光源 |
本體?重量 | 300(W) × 560(H) ×430(D) mm 、約20kg |
Option
• Rth測量,、方位角測量※治具本體(旋轉(zhuǎn):180°, 傾斜:±50°)
• 動旋轉(zhuǎn)傾斜治具