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干渉式膜厚儀

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 SF-3
  • 品牌 OTSUKA/日本大塚
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 蘇州市
在線詢價 收藏產(chǎn)品

更新時間:2020-06-16 11:26:47瀏覽次數(shù):1887

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,印刷包裝,電氣
干渉式膜厚儀以非接觸方式測量晶圓等的研磨和拋光工藝,,超高速、實時,、高精度測量晶圓和樹脂,。

詳細介紹

 

 item_0010SF-3_bg.jpg

干渉式膜厚儀以非接觸方式測量晶圓等的研磨和拋光工藝,超高速,、實時,、高精度測量晶圓和樹脂。

 

干渉式膜厚儀特點:

  • 非接觸式,,非破壞性厚度測量
  • 反射光學(xué)系統(tǒng)(可從一側(cè)接觸測量)
  • 高速(5 kHz)實時評測
  • 高穩(wěn)定性(重復(fù)精度低于0.01%)
  • 耐粗糙度強
  • 可對應(yīng)任意距離
  • 支持多層結(jié)構(gòu)(多5層)
  • 內(nèi)置NG數(shù)據(jù)消除功能
  • 可進行距離(形狀)測量(使用配件嵌入式傳感器)*

*通過測量測量范圍內(nèi)的光學(xué)距離

 

 

 

Point1:*技術(shù)

對應(yīng)廣范圍的薄膜厚度并實現(xiàn)高波長分辨率,。
采用大塚電子*技術(shù)制成緊湊機身。

thickne.png

spectra.png

Point2:高速對應(yīng)

即使是移動物體也可利用準(zhǔn)確的間距測量,,

是工廠生產(chǎn)線的理想選擇,。

speed.png

Point3:各種表面條件的樣品都可對應(yīng)

從20微米的小斑點到

各種表面條件的樣品,都可進行厚度測量,。

spot.png

Point4:各種環(huán)境都可對應(yīng)

因為遠可以從200 mm的位置進行測量,,

所以可根據(jù)目的和用途構(gòu)建測量環(huán)境,。

condtion.png

測定項目

厚度測量(5層)

用途

各種厚膜的厚度

youto.png

式樣

型號SF-3/200SF-3/300SF-3/1300SF-3/BB
測量厚度范圍5~40010~77550~13005~775
樹脂厚度范圍10~100020~1500100~260010~1500
小取樣周期kHz(μsec)5(200)※1-
重復(fù)精度%0.01%以下※2
測量點徑約φ20以上※3
測量距離mm50.80.120※4.200※4
光源半導(dǎo)體光源(クラス3B相當(dāng))
解析方法FFT解析,,適化法※5
interfaceLAN,I/O入輸出端子
電源DC24V式樣(AC電源另行銷售)
尺寸mm123×128×224檢出器:320×200×300
     光源:260×70×300
     
選配各種距離測量探頭,,電源部(AC用),,安全眼睛
     鋁參考樣品,測量光檢出目標(biāo),,光纖清理器

 *1 : 測量條件以及解析條件不同,,小取樣周期也不同。
*2 : 是產(chǎn)品出貨基準(zhǔn)的保證值規(guī)格,,是當(dāng)初基準(zhǔn)樣品AirGap約300μm和
         約1000μm測量時的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差( n = 20 )
*3 : WD50mm探頭式樣時的設(shè)計值
*4 : 特別式樣
*5 : 薄膜測量時使用
※CE取得品是SF-3/300,、SF-3/1300

基本構(gòu)成

 SF-3_2.png

測定例

 貼合晶圓

 Mapping結(jié)果

研削后300mm晶圓硅厚度

 關(guān)聯(lián)產(chǎn)品

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