透射掃描電子顯微鏡由透射電子顯微鏡(TEM)發(fā)展而來，指透射電子顯微鏡中有掃描附件者,，尤其是指采用場(chǎng)發(fā)射電子槍作成的掃描透射電子顯微鏡,。掃描透射電子顯微分析是綜合了掃描和普通透射電子分析的原理和特點(diǎn)而出現(xiàn)的一種新型分析方式，其空間分辨率可達(dá)亞埃米級(jí),，可在納米和原子尺度上對(duì)材料微結(jié)構(gòu)與精細(xì)化學(xué)組分的表征與分析,。在冶金、材料,、環(huán)境科學(xué),、生物科學(xué)等領(lǐng)域具有很大的應(yīng)用潛力。
透射掃描電子顯微鏡使用高亮度的冷電子光源，匯聚成極細(xì)的電子探針后對(duì)樣品進(jìn)行掃描,，然后收集穿過樣品的電子,，同時(shí)在樣品正方裝有電子能量分析器。
該產(chǎn)品的分辨率較高,，理論上可達(dá)0.1～0.2nm,，實(shí)際分辨力可達(dá)0.2nm，遠(yuǎn)超過光學(xué)顯微鏡的分辨率(約200納米),。其放大倍數(shù)可高可達(dá)近百萬倍,，使得研究人員能夠觀察到物質(zhì)的微觀結(jié)構(gòu)，包括晶體結(jié)構(gòu),、原子排列和缺陷等細(xì)節(jié)信息,。
該產(chǎn)品具有分辨率高、可與其他技術(shù)聯(lián)用的優(yōu)點(diǎn),，在材料學(xué),、物理、化學(xué)和生物學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛地應(yīng)用,。材料的微觀結(jié)構(gòu)對(duì)材料的力學(xué),、光學(xué)、電學(xué)等物理化學(xué)性質(zhì)起著決定性作用,。
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