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　　隨著納米科技的發(fā)展，納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速,，而納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分,，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發(fā)展起來的聚焦離子束(FIB)技術利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工,，配合FIB顯微鏡等高倍數(shù)電子顯微鏡實時觀察,，成為了納米級分析、制造的主要方法,。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改,、切割和故障分析等。
 

　　FIB顯微鏡的工作原理：聚焦離子束(FIB)轟擊樣品表面,，激發(fā)二次電子,、中性原子、二次離子和光子等,，收集這些信號,，經(jīng)處理顯示樣品的表面形貌。聚焦離子束的系統(tǒng)是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器,，目前商用系統(tǒng)的離子束為液相金屬離子源,，金屬材質(zhì)為鎵，因為鎵元素具有低熔點,、低蒸氣壓,、及良好的抗氧化力。利用金屬鎵作為離子源,，在負電場將鎵原子由針尖一端牽引出,，形成鎵離子束，離子束透過電透鏡聚焦,，經(jīng)過一連串變化孔徑可決定離子束的大小,。最后離子束再經(jīng)過第二次聚焦至試片表面。
 

　　因為鎵原子位于周期表中間的位置,，使用它來撞擊其它元素原子所造成的移除效果遠遠大于電子,。因此，可以利用離子束對試片表面進行特定圖案的加工,?？捎脕韺崿F(xiàn)材料切割、沉積金屬、蝕刻金屬和選擇性蝕刻氧化層等功能,，達到電路修補的需求,。藉由氣體輔助蝕刻系統(tǒng)的幫助，不但可以提高不同材料的蝕刻選擇比與蝕刻速率,，并可直接進行特定材料的沉積,。FIB顯微鏡可應用于晶相特性觀察分析，制程上異常觀察分析,，穿透式電子顯微鏡試片制作和定點切割,。