TEM掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用,。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子,、俄歇電子,、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子,、透射電子等多種的信號,，以及在可見、紫外,、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射,。同時(shí)，也可產(chǎn)生電子-空穴對,、晶格振動(dòng)(聲子),、電子振蕩(等離子體)。原則上講,，利用電子和物質(zhì)的相互作用,，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,，如：形貌,、組成、晶體結(jié)構(gòu),、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等等,。
TEM掃描電鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實(shí)現(xiàn),。如：通過采集二次電子,、背散射電子得到有關(guān)物質(zhì)表面微觀形貌的信息，背散射電子衍射花樣得到晶體結(jié)構(gòu)信息,，特征X-射線得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息，這些得到的都是接近樣品表面的信息,。
TEM掃描電鏡制樣對樣品的厚度沒有特殊要求,，可以采用切、磨,、拋光或解理等方法將特定剖面呈現(xiàn)出來,，從而轉(zhuǎn)化為可以觀察的表面。這樣的表面如果直接觀察,，看到的只有表面加工損傷,，一般要利用不同的化學(xué)溶液進(jìn)行擇優(yōu)腐蝕，才能產(chǎn)生有利于觀察的襯度,。不過腐蝕會使樣品失去原結(jié)構(gòu)的部分真實(shí)情況,，同時(shí)引入部分人為的干擾，對樣品中厚度極小的薄層來說,，造成的誤差更大,。
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