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ESA500真空泵維修，真空泵維修,，萊寶真空泵維修,，進(jìn)口真空泵維修，萊寶羅茨泵維修
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
荏原ESA500真空泵維修：
荏原ESA500真空泵維修：
ESA型は,、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ裝置?真空乾燥プロセス?大型ロードロック室等の高速排気性能に優(yōu)れ,、負(fù)荷に応じた回転數(shù)自動制御機(jī)能?通信機(jī)能等の付加価値を搭載した獨(dú)立設(shè)置型ドライ真空ポンプです。
特長
型式：ESA15-D／ESA25-D／ESA70W（-D）／ESA70WN（-D）／
ESA80W-HDF／ESA80WN-HDF／ESA100W／ESA100WN
（1)泵總體結(jié)構(gòu)型式
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu),。
立式結(jié)構(gòu)的進(jìn),、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便,。但泵的重芯較高,，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵,。
臥式泵的進(jìn)氣口在上,，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,，可將排氣口從水平方向接出,，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的,。此時(shí),，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口，除接排氣管道一端外,，另一端堵死或接旁通閥,。這種泵結(jié)構(gòu)重芯低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好,。一般大,、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。
泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝,。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,，轉(zhuǎn)子裝配方便,，泵占地面積小。但泵重芯較高且齒輪拆裝不便,，潤滑機(jī)構(gòu)也相對復(fù)雜,。