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中國臺(tái)灣PS902漢鐘螺桿真空泵維修

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更新時(shí)間:2020-07-07 15:44:31瀏覽次數(shù):700

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中國臺(tái)灣PS902漢鐘螺桿真空泵維修:
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詳細(xì)介紹

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詳情介紹

在過去近100年中,,我們始終致力于提供創(chuàng)新的真空泵和尾氣處理系統(tǒng)的解決方案,,應(yīng)用于各種行業(yè),從實(shí)驗(yàn)室到需求的半導(dǎo)體和工業(yè)行業(yè),,以及新興的太陽能和生物柴油行業(yè),。我們努力降低您的運(yùn)行成本,提高您的生產(chǎn)效率和產(chǎn)成品質(zhì)量,。鑰大真空承接各類真空泵維修,。

 

HANBELL漢鐘螺桿泵維修型號(hào):

 

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HANBELL漢鐘螺桿泵維修優(yōu)點(diǎn):

 

螺旋真空泵浦產(chǎn)品特色漢鐘精機(jī)PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對(duì)互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子,在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙,,使得真空泵浦運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)腔體內(nèi)無需潤滑,,因而無油氣回漏污染的問題。PS902漢鐘螺桿真空泵維修后透過轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果,,壓力可達(dá)7.5×10-3Torr,。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強(qiáng),,加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜,,因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程,。 泵浦溫度控制精準(zhǔn),。漢鐘精機(jī)PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì),,同時(shí)改善殼體的冷卻方式,,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準(zhǔn)地控制泵浦內(nèi)部溫度,,減少沉積物的產(chǎn)生,,增加真空泵浦的壽命,。

 

HANBELL漢鐘螺桿泵維修后測試密封馬達(dá)安全性高,PS系列真空泵浦亦全面采用設(shè)計(jì)的水冷罐裝密封馬達(dá),,除了能維持更低的馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)溫度增加馬達(dá)的壽命外,,也可*避免制程氣體外漏的風(fēng)險(xiǎn)。微電腦控制保護(hù)周全 PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,,可同時(shí)監(jiān)控馬達(dá)電流,、馬達(dá)溫度、殼體溫度,、冷卻水流量,、氮?dú)饬髁恳约褒X輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護(hù),,十分適用于光電,、半導(dǎo)體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求*之產(chǎn)業(yè),。

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